Високовакуумний массовий витратомір

Вступ Масові витратоміри (MFC) складаються з трьох основних пристроїв: датчика витрати, обвідного розпилювача та друкованої плати, точно вимірює масову витрату, зменшуючи обсяг газу, що коливався внаслідок зміни температури. MFC широко застосовується в сферах напівпровідників та IC ...

Послати повідомлення
Завантажити

Введення продукту

Специфікація

Діапазони потоку	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Точність	± 1,5% FS
Лінійність	± 1% FS
Повторюваність	± 0,2% FS
Час реакції	≤4 сек
Коефіцієнт температури t	Zero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃
Макс. Тиск	3МПа
Робоча температура	5 ℃ ~ 45 ℃
Матеріал ущільнювача	Вітон, неопрен
Настройка / вихідний сигнал	0V ~ + 5.00V (Вхідний імпеданс> 100K, вихідний струм ≤3ma)
Блок живлення	+ 15 В 50 мА -15 В 50 мА
Електричне підключення	D під 15 контактних жіночих
Диференціальний тиск	0,01 МПа
Витік	1 × 10-8 атм • cc / sec He (1 × 10-9 Pa • m ³ / sec He)
Стандартна суміш	SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Внутрішній) × 1 шланговий з'єднувач, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (Внутрішній) × 1 шланговий з'єднувач
Медіа	Всі гази
Емі	CE
Вага	0,92 кг

Вступ

Масові витратоміри (MFC) складаються з трьох основних пристроїв: датчика витрати, обвідного розпилювача та друкованої плати, точно вимірює масову витрату, зважаючи на те, що обсяг газу коливався через зміну температури. MFC широко застосовується у сферах виробництва напівпровідників і СК, спеціальних матеріалів з матеріалознавства, хімічної промисловості, нафтової промисловості, фармацевтичної промисловості, охорони навколишнього середовища, досліджень вакуумної системи тощо.

Особливості

◆ Висока точність, тривалий термін служби, відмінна повторюваність

◆ Швидка реакція, м'яке запуску, надійна надійність

◆ Широкий діапазон робочих тисків (хороша робота в умовах високого тиску чи вакууму)

◆ Легка і зручна робота

◆ Вона може бути встановлена де завгодно та підключається до комп'ютера для здійснення автоматичного керування.

Типове застосування

Типові програми MFC включають в себе технологію мікроелектроніки, таку як дифузія, окислення, епітаксія, серцево-судинні процеси, плазма, травлення, розпилення, іонна імплантація та інше поле, такі як обладнання для вакуумного осадження, плавлення волокна, обладнання для мікрореакції, змішування та узгодження газової системи , система контролю капілярного потоку, газовий хроматограф та інші аналітичні прилади.

Розмір установки