Повітряний резервуар
Oct 12, 2023| Повітряний резервуар
Група високовакуумних насосів малого дифузійного насоса зазвичай має газовий резервуар, який розташований між дифузійним насосом і переднім насосом для зберігання газу, що випускається дифузійним насосом. Причинами установки бензобака є:
1) Необхідність протиударного захисту системи
Коли вакуумна система працює, деякі процеси вимагають суворої ударостійкості, тому попередній механічний вакуумний насос повинен припинити роботу на певний період часу, коли вакуумна камера знаходиться в робочому стані. Протягом цього часу весь газ, що випускається дифузійним насосом, зберігається в газовому баку, і газовий бак використовується для заміни механічного насоса для підтримки нормальної роботи дифузійного насоса.
2) Щоб скоротити робочий цикл
Деякі виробничі процеси вимагають виведення вакуумної камери в атмосферу в обмін на компоненти та зарядку без закриття нагрівача дифузійного насоса. Передній насос вакуумної установки використовується як насос попереднього відкачування. Після завантаження вакуумна камера попередньо накачується механічним насосом, а газовий бак використовується протягом цього часу для підтримки дифузійного насоса (як переднього насоса).
3) Щоб запобігти впливу великої кількості миттєвого газового розряду у вакуумній камері на нормальну роботу дифузійного насоса
У виробництві вакуумного процесу об’єм вихлопних газів особливо великий за певний період часу, але час короткий. Якщо конфігурувати механічний насос відповідно до максимального об’єму відпрацьованих газів у цей час невигідно, резервуар попереднього ступеня можна налаштувати в системі в цей час для зберігання частини газу при максимальному об’ємі відпрацьованих газів, щоб уникнути попередній тиск дифузійного насоса перевищує максимальний зворотний тиск.
4) Використовується для стабілізації тиску на виході дифузійного насоса
Оскільки випуск механічного вакуумного насоса є імпульсним, хоча частота невисока (зазвичай близько 7 разів/с), це також спричинить коливання вихідного тиску дифузійного насоса, а налаштування газового бака може зменшити такі коливання. коливання.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com