Класифікація магнетронного катодного розпилення цілі
Jun 08, 2018| Магнетронний розпилювач - це вакуумне покриття механічних частин, а також силові електронні компоненти. З точки зору використання цільового джерела живлення, ми більше стурбовані його електричними характеристиками.
1. За механічною структурою
Відповідно до механічної структури та форми цілі, магнетронне розпилення мішені в основному ділиться на плоскі (прямокутні або круглі) магнетронні мішені, коаксіальні примусові магнетронні мішені, кільцеподібна конічна магнетронна мішень (S gun) та деякі інші.
2. За матеріалами плоских цілей
Планарна ціль розділена на планову прямокутну магнетронну ціль, планарну циркулярну магнетронну мішень і дугові магнетрону з подвійною ціллю комбінованої структури.
3. За магнітним полем
(1) Магнетронні цілі можна класифікувати як постійні магніти та електромагніти в залежності від режиму формування магнітного поля.
(2) Відповідно до різниці у розташуванні та положенні розподілу магнетронної мішені у вакуумній камері та різниці в статусі розподілу магнітних полюсів і магнітних ліній, її можна розділити на збалансований магнетронний розпилення та несбалансований магнетронний розпилення (несбалансоване магнетронне розпилення може змусити плазму віддалятися від поверхні мішені, щоб поліпшити якість поверхневого плівкового шару та ефект осадження іонами великої площі профільованого заготівлі.) Багатоцільове замкнуте магнітне поле, незбалансоване магнетронним розпиленням, може отримати високий рівень осадження та високу якість тонкої плівки .
(3) Незбалансоване магнітне поле міграції магнетронного розпилення може бути отримане не тільки шляхом зміни розміру та міцності внутрішніх і зовнішніх постійних магнітів, але також двома наборами електромагнітних котушок або використанням змішаної структури електромагнітних котушок і постійного магніти, а також додавати додаткові соленоїди між катодом і субстратом, щоб змінити магнітне поле між катодом і субстратом і контролювати співвідношення позитивних іонів і атомів у осадженні для досягнення найкращих результатів.