Системи дозволяють утримувати магнетрон розпилення джерел або 1,5 дюймовий або 2-дюймовий діаметр цілі і до чотирьох джерел за системою, з РФ і DC можливостями. Забезпечується широкий спектр варіантів, таких як MFCs для різних газів, пакунки постачання енергії, одного або декількох вафельні навантаження замки тощо.   Магнетрони може бути встановлений на Z-етапи, щоб надати широкий діапазон і дозвіл осадження ставки.

Тест pad розмірів може бути в діапазоні від близько 4 мм при квадраті до більш ніж 25 мм при квадраті, з урахуванням вимог користувача. Це дуже легко змінити розмір тест pad і крок та Повтор відстані в поле з нашого простий у використанні програмного забезпечення.

Можливості & компонентів

Комбінаторна розпилення systems надасть користувача з широкий спектр можливостей для росту нових матеріалів. Таке обладнання швидко допоможе клієнту визначити правильне склад, необхідні для певних програм, збереження значний час і гроші, тестування сотні унікальних композицій один за одним.

Системи поставляються в комплекті з всі необхідні компоненти, такі як сила распаєчних коробки, вафельних потоку потужності поставок, MFCs, блокування ключі та пневматичні клапани, разом із замкнутого циклу зворотний зв'язок для постійного тиску контролю, різні насосних пакунки, повний Рекомендовані, програмне забезпечення, і т. д. Кожна машина може індивідуально спеціально для конкретних вимог замовника.