Правильна робота та обробка несправностей машини вакуумного покриття

Правильна робота та обробка несправностей машини вакуумного покриття

IKS PVD, ми зробимо повний тренінг для Вашого персоналу, після монтажу машини.

Зв'яжіться з нами зараз, iks.pvd @ foxmail.com

Експлуатація електричного шафи керування

1, скло вакуумне покриття машини відкриті водяний насос, джерело газу

2, відкрийте повну потужність

3, відкритий насос підтримки, потужність метр вакууму, вакуумний датчик позиції файлу V1 позиції, чекати його значення менше 10, потім введіть наступний крок роботи. Це займає близько 5 хвилин.

4. Відкрийте механічний насос і заповнювач, відкрийте блок живлення турбіни молекулярним насосом і запустіть його. Увімкніть вакуум-манометр у положення V2 і накачайте, поки він не перевищить 2, приблизно 20 хвилин.

5. Зауважте, що після зчитування турбіни молекулярний насос досягає 250, закривайте насос, відкривайте передню машину і високий клапан, щоб продовжувати накачувати вакуум, і тільки після того, як вакуум досягне певного рівня, високий вакуумний датчик головки на право бути відкритим для спостереження ступеня вакууму. Вакуум досягає 2 10-3 до того, як потужність пістолета може бути включена.

Експлуатація блоку живлення електронної гармати def-6b

1, сумарна потужність

2, обладнання для вакуумного нанесення покриття, в той же час відкрити and пістолет управління і контроль пістолета : потужність: автоматичне скло покриття відповідно до електронної гармати управління, харчування, затримка перемикання, затримка, потужність і для захисту світла, через три хвилини після часу Затримка і захист світильників гаснуть, якщо задні двері не закриті або несправні з поточним реле, захистити нормально буде.

3. Відкрийте високу напругу, висока напруга досягне більш ніж 10кВ, відрегулюйте промінь близько 200мА, завіса сітки 20В / 100мА, струм нитки 1.2а, струм відхилення коливається між 1 і 1.7.

Послідовність вимикання

1. Вимкніть головку вакуумного датчика та молекулярний насос.

2. Коли молекулярний насос відображається до 50, закрийте послідовно високий клапан, передню ступінь і механічний насос, що займе близько 40 хвилин.

3. Вимкніть насос для технічного обслуговування, коли він досягає нижче 50.

Звичайна невдача покриття машини і її обробка

Неможливо виявити сигнал перевертання затискача маски:

1. Перевірте положення джерела сигналу віддзеркалення;

2. Коротко вручну перевернути вхідний сигнал. Якщо сигнал не може бути виявлений, спочатку перевірте схему, а потім замініть карту керування.

Нестабільний перегин затискача маски:

1. Перевірте, чи відповідає початкове положення відкидної пластини часу синхронізації;

2. Перевірте, чи є механізм повороту гнучким і надійним; Покажчик мультиметр може бути використаний для відстеження моніторингу.

3. Перевірте, чи є механізм повороту гнучким і надійним;

4. Перевірте налаштування часу сигналу повороту;

5. Переконайтеся, що поворотний стіл має тертя з внутрішньою стінкою дзвону

6. Перевірте стійкість поворотного столу при обертанні

У тій же масці частотна дисперсія приладу велика:

1. Перевірте, чи сам мікросхема має велику дисперсію;

2. Перевірте, чи змінюється положення плати корекції плівки, і налаштуйте плату корекції

3. Перевірте, чи перегородка повністю покриває молібденову човен

4. при відкритті та закритті. Перевірте, чи охоплює бомбардування кільце молібденового човна.

5. Перевірте, чи відповідає молібденовий човен вимогам

Велика дисперсія частоти між POTS:

1, подивіться на монітор, чи є явище стрибкоподібної зміни частоти

2, повторні вимірювання та уніфіковане спостереження за спостереженням за стабільністю генератора (не більше 75 Гц)

3, перевірте, чи охолоджуюча вода вільна

4, перевірте використання молібденового човна відповідно до вимог, щоб прийняти круговий молібденовий човен

5, моніторинг, вибрати чи відповідати вимогам, рекомендувати моніторинг моєї компанії

Частота покриття не припиняється:

1. Перевірте правильність налаштування частотних параметрів

2, молібденовий човен-амперметр чи є вказівка

3. Чи є в молібденовій човні срібло

4. Чи є чіп моніторингу стрибкоподібним

5. Чи неправильний поправочний коефіцієнт

6. Чи слід замінити панель моніторингу після аномального вилучення

Частота не перевірена:

1, змініть лист моніторингу

2, перевірте, щоб перевірити, чи є шрапнельна деформація

3, вставте безпосередньо з 5 МГц кварцовий генератор вхідного вимірювання частоти, якщо у вас є частота виявила питання зонда, без частоти, вихідний частота лічильник вимірювання осцилятора аномалія, доказ нормального генератора виходу має проблеми, мають нормальний вихід, але є щось помилка з доказом комп'ютера на платі керування дисплеєм .

Відсутність дії регулюючих клапанів:

1. Перевірте, чи має джерело живлення 5В і чи правильно підключено

2. Перевірте, чи має загальний кінцевий блок живлення релейної плати електричних регулюючих клапанів і не працює окремо

3. Перевірте, чи має відповідне твердотільне реле

Робота без вакууму:

1. Аномальні цифри з'являються в цифровому вакуум-манометрі, і не відбувається ніяких змін протягом 30 секунд, таких як явище 0.00-4 (звичайний у внутрішньому вакуум-манометрі)

2. Після того, як вакуумметр вмикається на 30 секунд, чорний покажчик ще не коливається

Моніторинг за принципом

1, моніторинг поверхні для очищення

2, монітор для використання з покриттям, піддається більш ніж 12 годин у повітрі це заборонено використовувати

3, моніторинг і дефект поверхні заборони використання

4, у процесі використання, щоб використовувати запис партії, забороняється з'являтися суміш старого і нового

5, моніторинг терміну служби повторюваного 3 рази.