Вступ про вакуумні

1. базові знання вакуумні

"Вакуумний" означає простір будь-якому газоподібний стан, під тиском, який знаходиться нижче атмосферного тиску. Газ тонше в цьому просторі, принаймні тонше, ніж атмосфера, але Абсолют "вакуум,", тобто простір без будь-яких газоподібних частинки, не можуть бути знайдені, і десять тисяч кілометрів від землі, є 3 ~ 4 кубічних сантиметрів на кубічний сантиметр молекул.

Як ступінь вакууму проблема розмір тиску газу та одиниці вимірювання тиску є одиниці вимірювання ступеня розрядження. Міжнародний стандартний блок є "ПА", яка також може бути виміряна в "Torr", "Бар" і "мбар". Відносини між ними визначається за формулою:

1 стандартний атмосферного тиску = 1,01 х 105 ПА = 760 Torr = x 103 мбар 1,01

2. Чому вам потрібно пальто вакуум?

Випаровування покриття матеріалу під атмосферним тиском для формування ідеального фільм, по суті, як і низьким вистачає тиску (або вакуум не є достатньо високим) за умови того ж не можна отримати хороші результати, таких як 102 підтримки порядку під пару, фільм не тільки somberness, навіть сірий, чорний і механічну міцність несприятливий, пензлем акуратно чистити білка знищить алюмінієвого шару. Випаровування повинні виконуватися в певних вакуумні умов, тому що:

(1) вище, вакуумні ступінь забезпечує середній вільний шлях до випарника більше, ніж відстань від джерела на базу.

У зв'язку з тепловим рухом молекул газу, зіткнення між молекулами є надзвичайно поширеною, молекул газу, швидкість руху є досить високою (до декількох сотнях метрів на секунду), а як вона рухається вперед частіше, ніж інші молекули зіткнення, на Відстань молекулу переміщується між двох послідовних зіткнень називається вільний шлях, і статистичного середнього вільний шлях велику кількість молекул називається означає вільний шлях молекули.

Оскільки тиск газу пропорційна кількості молекули на одиницю об'єму, середній діапазон вільний є пропорційна тиску газу. У процесі вакуумні осадження тонких плівок якщо осадження відстань перевищує молекулярних означає вільний шлях, вона називається низький вакуумного нанесення і коли осадження відстань становить менше, ніж молекулярних означає вільний шлях, це називається висока вакуумна депонування. Високої вакуумної відкладення процесу, випаровування атомів (або молекул) і зіткнення залишковий газ молекули є незначним, так що випаровуються атомів літати по прямій лінії до підкладки, тим самим зберігаючи досягнення більшого кінетичної енергії випаровуються атомів підкладки та підкладки конденсується в більш міцну плівку. У низький вакуумного нанесення швидкістю та в напрямку випаровуються атомів змінити в результаті зіткнення, або навіть утворення пар atom агрегати в просторі. Це зумовлено схожий до таких водяного пару в атмосфері.

(2) у залишковий газ забруднення може бути зменшена на вищих вакуумні

У випадку з вакууму не є занадто високою, вакуумної камери містить велику кількість молекул залишковий газ (кисень, азот, води і вуглеводнів тощо), який може принести більше шкоди напиленням тонка плівка:

● Вони стикаються з випаруються фільм молекул, така, що означають вільний шлях стає коротшим.

● Вони стикаються з і реагувати з поверхнею, будучи фільм сформований.

● Вони ховаються себе в сформованих фільм і поступово атакувати фільму; вони поєднують з випаровування джерелом для зменшення їхнього терміну служби.

● Вони утворюється на земній поверхні шаром оксиду виварочна фільм, так що процес випаровування не можуть здійснюватись гладко.

3. Вакуумні вимірювання

Розвиток сучасного вакуумної технології зробило можливим вимірюють вакуумне тиском з атмосферним тиском до 10-12pa, це не можна використовувати тільки один вид вакуум калібрувальних виконати вимірювання роботи в такий широкий діапазон і є кілька типи вакуумних вимірювань вакуум калібрувальних відповідно до повної їх діапазон:

(1)  Термопара вакуум калібрувальнихі Pirani вакуум калібрувальних

В певному діапазоні теплопровідність газу є функцією від тиску, який є вимірювання принцип термопара і Pirani датчиками.

Термопара вакуум калібрувальних приймає метод вимірювання температури зміни безпосередньо до роботи. Коли прогрів струмом ведеться постійної, якщо тиск газу зменшується, а потім зменшує теплопровідність газу, робоча температура термопара збільшується, відповідні термоелектричних сила, яка є збільшення, через що зв'язок між тиску і електрорушійна сила для визначення тиск системи.

Pirani вакуум датчиків і датчиків термопара також використовуються як середньої дальності вакуумних вимірювань. Pirani вакуумні датчик має скляні або металеві оболонки, оболонка обладнаний з високою температурою опору дроту (наприклад, Платина, вольфраму тощо), перепад тиску, нитки температури і опір буде збільшуватися, згідно з виміряних на опір значення, значення тиску можна опосередковано отримати.

(2) холодної катода іонізації калібрувальних

Індикаторі вакуумні холодним катодом іонізації називається Пеннінга вакуумні метр. Коли розряду трубки експлуатується на тиск нижчі, ніж 102 - мбар, починаючи з молекул газу від катода до анода кілька електрон зіткнення з газу молекулярної процес рідко, так що струм не пов'язані тиску газу. Якщо магнітного поля зміцнили у вертикальному напрямку руху електрон, то стає траєкторію руху електрон спіраль, так що значно збільшує можливості електрон іонізуючих випромінювань молекул газу. Навіть при дуже низькою газу щільності можете іонізованою великої кількості газів. Коли анодного напруга і сила магнітного поля є постійною для певних газовий склад, іонні поточного безпосередньо пов'язані з тиску, який є принцип роботи з холодним катодом вакуумні датчик.