Основні параметри, що впливають на напилення плівки

Основні параметри, що впливають на напилення плівки

Швидкість осадження відноситься до товщини плівки, нанесеної на підкладку в одиницю часу матеріалами розпилення з мішені, яка пропорційна швидкості розпилення. Мають такі відносини:

qt = CIh

Qt - швидкість осадження;

С - константи, що представляють характеристики розпилювального пристрою;

I - являє собою іонний потік;

H - означає швидкість розпилення.

З цього рівняння видно, що коли фіксується розпилювальний пристрій (тобто С - фіксований параметр розпилювального пристрою, який, як правило, визначається ключовими параметрами, такими як задана базова відстань на початку проекту) і робочий газ вибирається, найкращим способом поліпшення швидкості осадження є збільшення іонного потоку I. \ t

Швидкість формування плівки методом магнетронного розпилення пропорційна цільовій потужності. Факторами, що визначають швидкість осадження, є: щільність потужності протравленого ділянки, площа травлення, цільова відстань, цільовий матеріал, тиск газу, склад газу тощо. вони впливають один на одного, такі як тиск, щільність потужності, область травлення тощо. Крім того, термічні та механічні властивості мішені також обмежують максимальну швидкість розпилення .

IKS PVD, технологія вакуумного нанесення покриттів, контактуйте з нами зараз, iks.pvd@foxmail.com