Вимірювання ступеня вакууму відомих змішаних газових композицій
Jul 12, 2018| При випробуванні вакуумної системи змішаного газу з вакуумметром теплопровідності, якщо відомий об'єм відсотків Vi (i = 1, 2, 3, ..., n) різних газів у змішаному газі, відносна чутливість S змішаного газу для повітря може бути розрахована за такою формулою.
Де: Vi - об'ємна частка i-го газу;
Шрі - відносна чутливість i-го газу.
Після розрахунку Sr, результат, виміряний за допомогою наведеного вище методу, помножується Sr, щоб отримати фактичний вакуум змішаного газу.
←
Пара: Короткий огляд технології HIPIMS
Наступний: Класифікація магнетронного розпилення цілі
→
Послати повідомлення


