Характеристики вакуумного виміру

1. Діапазон вимірювання тиску: 10 ⁵ ~ 10 ^-14 Па.

2. Більша частина вакуумного вимірювача є непрямим вимірюванням, і сила одиничної площі може вимірюватися безпосередньо тільки тоді, коли тиск становить від 10 ⁵ до 10 Па. Проте, більшість вакуумних вимірювальних тисків невеликі, ніж вищесказане, не можна безпосередньо виміряти, слід використовувати деякі характеристики газу під низьким тиском (наприклад, теплопровідність, в'язкість, іонізація тощо) для непрямого вимірювання.

3. Неелектричні вимірювальні технології приймаються. Завдяки неелектричній вимірювальної технології з високою чутливістю, швидке реагування, автоматичні та дальні вимірювання можна досягти, більшість вакуумметрів за допомогою цього методу. Електронний вакуумметр складається з двох частин вакуумметра та електронної вимірювальної схеми (блок керування та індикатора). Датчик є чутливим елементом. Він перетворює газовий тиск неелектричної кількості на електричний сигнал, використовуючи деякі характеристики газу під низьким тиском, а потім підсилює і відображає вихідний електричний сигнал датчика за допомогою вимірювального контуру. При необхідності, вихідний сигнал надсилається на автоматичний реєстратор та автоматичне обладнання для реалізації автоматизації вакуумного обладнання. Вимоги щодо перетворення неелектричного тиску в електричний заряд забезпечуються блоком керування вимірювальної схеми.

4. Дані деяких вакуумметрів пов'язані з типом і складом газу. Тому вимірювання повинно приділяти особливу увагу типу та складу газу під час вимірювання; інакше це призведе до великої помилки.

5. Точність вимірювань не висока. У процесі непрямого вимірювання тиску для підтримки часто потрібна додаткова енергія. Зовнішня енергія може бути тепловою енергією, електричною енергією, механічною енергією та радіологічною енергією. Таким чином, помилка вимірювання неминуче вводиться одночасно з введенням застосованої енергії. Тому точність вакуумного вимірювального приладу нижча, ніж у інших вимірювальних приладів.