Напруга покриває плівки
Dec 08, 2018| Напруга покриває плівки
I. Класифікація плівкового стресу та причин стресу
Внутрішнє напруження можна розділити на осадження внутрішнього напруги і додаткові внутрішні напруги. У процесі формування плівки наводяться дефекти структури і теплові ефекти, що утворюються в плівці, коли кристали зливаються один з одним.
. Коли атоми газової фази вводяться в субстрат, під час процесу формування плівки виділяється велика кількість тепла . Ця кількість тепла еквівалентно загартуванню підкладки, що призводить до генерації напруги, і в той же час
Оскільки пар утворює ядро на початковій стадії осадження субстрату, поверхневий натяг зерен змушує сусідні зерна злипатися і утворювати великі зерна, ця коалесценція призведе до зменшення його поверхневої енергії, зменшення площі поверхні, усадки зерна та субстрату. вона зливається і усаджується, що призводить до утворення плівки внутрішньої напруги конденсації. Останнє обумовлено утворенням плівки після вибуху
Під впливом атмосфери або атмосфери в камеру покриття плівка виробляється окисленням. Вищезазначені три відповіді Чи є сила АКТ у вигляді розтягуючого напруги або стискаючого напруження, це буде відбуватися на мембранній основі інтерфейсу \ t
Генерація напруги зсуву. Коли напруга зсуву є достатньо великим, щоб подолати адгезію між мембранними інтерфейсами основи, мембрана буде тріснутим.
Викривлення або пролиття, щоб належним чином відповідати плівці і підкладці, зменшити термічне напруження плівки, правильне формулювання плівки У процесі осадження, ключем до міцності є зменшення внутрішніх напружень або змусити два напруги компенсувати кожну інше також для поліпшення адгезії плівки.
2. Метод отримання плівки з низькою напругою
Для отримання плівок з низьким навантаженням можуть бути вжиті наступні заходи для підготовки мембрани :
(1) Виберіть параметр Коригувати температуру підкладки, щоб зменшити термічний стрес
Відкладення від зниження термічного напруження слід вибирати, коли температура підкладки, але також повинна вибиратися з зменшенням внутрішнього напруги, більшого через структуру плівки металу з низькою температурою плавлення, акуратним невеликим внутрішнім напругою, термічна напруга відіграє основну роль у цей момент, наприклад, підготовка надпровідних плівок, таких як олова свинцю індію, субстрат при температурі рідкого гелію термічний стрес може бути нульовим, тому метал з низькою температурою плавлення повинен вибирати нижню температуру підкладки на інших видах металів, температура підкладки повинна вибирати більш високу, так як для досягнення мети зниження внутрішнього стресу
Крім того, розумний вибір мембрани і підкладки, так що коефіцієнт теплового розширення двох матеріалів близький до плівці також є способом зменшення термічного напруги
(2) Правильний вибір тиску залишкового газу
Осадження плівки, тиск залишкового газу занадто високе, ймовірність зіткнення між парою і молекулами залишкового газу буде збільшуватися, що не тільки впливає на швидкість осадження, але й обумовлено явищем розсіювання зіткнення, отриманим методом випадкового розташування мембранної структури, і робить шар пористих мембран , легкий до окислення мембрани, навіть в мембранному шарі для створення бульбашок, тому покриття внутрішнього залишкового тиску газу несприятливе і непомірно, вибирають в 10 -3 -10 -4 Па відповідно
(3) Вибір швидкості осадження
Швидкість осадження залежить від температури, форми, розміру, відстані і потужності випаровування джерела випаровування елемента. При виборі швидкості осадження слід враховувати не тільки вимоги до характеристик і напруги плівки, але і процес
Вимоги. Для провідних металевих плівок швидкість осадження може бути обрана більшою, наприклад, плівкою, розміром зерна якомога менше, вузлом компактної структури, слабким окисленням, яскравою і гладкою поверхнею, хорошою електропровідністю. На опірній плівці для того, щоб збільшити поглинання плівки необхідне окислення мембрани необхідно для стабільності продукту. Тому швидкість осадження може бути уповільнена Деякі. Оскільки більшість діелектричних мембран є оксидними або іншими сполучними мембранами, вони розпадаються при окисленні. Або з нагрівачем виробляють хімічну реакцію, обидва пов'язані з температурою джерела випаровування, а теплопровідність діелектричної плівки погана, страждає, коли випаровується тепло нерівномірне, слід використовувати більш низьку швидкість осадження відповідно.
(4) Вибір товщини плівки та кута падіння пари
Співвідношення між товщиною плівки і середнім залишковим напруженням показано на фіг.1-2-7. Товщина плівки перевищує 100 нм При напрузі не змінюється. Проте зсувне зусилля, обумовлене напругою на мембрані - основу інтерфейсу
Вона прямо пропорційна товщині плівки, тому сила зсуву може бути більше, ніж адгезія, коли товщина плівки занадто велика, в результаті чого відбувається втрата плівки .
Середні залишкові напруги при випаровуванні і напиленні срібних плівок
Також дуже важливо вибрати кут падіння пари, для обладнання з малим відстані випаровування, кутом падіння
Для того, щоб зменшити кут падіння, краще відкладати менше субстратів
Це необхідно. Кут падіння зазвичай не повинен перевищувати 15 ° . Звичайно, також можна пройти розумну настройку базової частини кадру. Щоб вирішити цю проблему.
( 5) Відповідний контроль і усунення додаткових внутрішніх напружень
Додаткові внутрішні напруги в основному є стискаючими напругами, які можуть бути доречними відповідно до напружених властивостей плівки, виробленої під час осадження
Контроль і регулювання, такі як плівка, має більшу напругу розтягування, можуть зробити додаткове навантаження для досягнення більшої різноманітності .
Крім того, після осадження плівки, відповідна теплоізоляція може бути проведена у вакуумній кімнаті, щоб стабілізувати внутрішню структуру плівки і утворити на поверхні дуже тонку очищену плівку. Важливо також зберегти знову нанесену плівку якнайменше або взагалі не впливати на атмосферу, особливо коли температура підкладки набагато перевищує кімнатну температуру