Обчислити показник заломлення та коефіцієнт згасання TiO 2 плівки на основі методу оболонки

Для обчислення показника заломлення та коефіцієнта згасання TiO 2 плівки за методом оболонки коефіцієнт поглинання матеріалу не повинен бути занадто великим, інакше це вплине на кінцеву прохідність плівкового продукту та зменшить оптичну продуктивність продукту; При цьому показник заломлення не повинен бути занадто низьким, інакше вплине ширина смуги відсічення. Запропонований Manifacier в 1976, методом лінії baoluo є обчислення параметрів оптичної плівки шару плівки шляхом інвертування крайнього значення пропускання (або відбиття) при оптичній товщині шару плівки до цілих кратних лямбда / { {3}}. У фактичному вимірі максимальна точка T / 2 і мінімальна точка Т / 4 точки пропускання з'єднуються, утворюючи дві лінії конвертів, Tmax () і Tmin (). Тоді крайні коефіцієнти пропускання T / 2 і T / 4 на будь-якій довжині хвилі отримуються шляхом взяття точок на лінії огинаючої. Нарешті, коефіцієнт згасання та показник заломлення шару плівки обчислюються за допомогою крайнього значення пропускання, а товщина плівкового шару обчислюється відповідно до обчисленого значення показника заломлення та довжини хвилі крайньої точки.

Процес вимірювання методу простий, метод може одночасно вимірювати показник заломлення плівки, коефіцієнт згасання і товщину процесу вимірювання, не потрібно контактувати з зразками плівки, захист зразків, є ідеальним порівнянням всіх видів методів результатів випробувань обладнання, при правильному використанні може бути способом визначення плівки всіх оптичних констант. Лінійний показник заломлення n та товщина L плівки на довжині хвилі розраховуються за допомогою методу огинаючої.

Де:

0010010 nbsp; n0 і n 1 - показник заломлення повітря і основи відповідно; Tmax і Tmin - максимальний і мінімальний коефіцієнт пропускання на довжині хвилі; Лямбда 1, лямбда 2 і n (лямбда 1), n (лямбда 2) відповідають довжині хвилі і показнику заломлення двох сусідніх вершин або долин пропускання крива відповідно. Показник заломлення та коефіцієнт згасання TiO 2 плівки розраховували за допомогою програмного забезпечення Macleod. Як видно з рисунка (а) нижче, спектральний діапазон невидимий і близько інфрачервоний, а показник заломлення всіх 4 зразків зменшується. Показник заломлення № зразка 1 в діапазоні 400 ~ 1 000 нм знаходиться між 2. {{15}} ~ {{4 }}. 15. Показник заломлення № зразка 2 та № зразка 3 був дещо більшим, тоді як показник проби № 4 був дещо нижчим на тій же довжині хвилі, починаючи від {{4} 45 до 2. 15. 0010010 nbsp;

З рисунка (b) вище видно, що зразок № 1 має очевидне поглинання, а коефіцієнт згасання зростає зі спектральним діапазоном від uv-видимого до uv-видимого. Відомо, що низькі ціни оксидів металів Ti утворюються через недостатнє надходження кисню. Максимальна прохідність зразка № 2 була значно поліпшена, а коефіцієнт вимирання був в основному нижче {{5}}. 5×10-3, що все ще мало вплив на кінцеву пропускання спектру. Коефіцієнти згасання спектрів зразка № 3 та № зразка 4 в порядку 10-4, а вплив на кінцеву пропускну здатність спектрів в основному незначний. № 1 і № 2 коефіцієнт згасання зразка з довжиною хвилі збільшується, два інших основних не змінюються залежно від довжини хвилі, коефіцієнт згасання зразка, за умови ступеня вакууму, немає . 1 і №. 2 зразки зі збільшенням довжини хвилі і швидкістю передачі зменшуються, вміст кисню занадто низький, утворюється металевий Ti, а коефіцієнт згасання Ti становить праворуч збільшується довжина хвилі.

Шляхом порівняння чотирьох зразків було встановлено, що зі збільшенням потоку кисню ступінь вакуумування покриття зменшується, а заломлення плівки TiO 2 спочатку зростає, а потім зменшується. Завдяки збільшенню збільшення кисню після іонів кисню іонізуючого джерела іонів, збільшиться плівка бомбардування щільності іонів, зробиться більш щільний мембранний шар, таким чином поліпшиться показник заломлення плівки, коли кількість наповнення кисню ще більше збільшиться, однак відносно низька система вакуумного покриття, надлишок молекул кисню та зіткнення молекули TiO 2 мембран знизили молекулярну кінетичну енергію мембрани TiO 2 , щоб зробити осадження TiO 2 тонкоплівкової молекулярної міграції швидкість знижується, щільність мембранного шару, ще більше знизила показник заломлення тонких плівок. Якщо менша кількість кисню, а саме система вакуумного покриття, також викликає кількість кисню менше, чи можна 0010010 # 39; t подавати Ti 2 O 3 очікується, що в результаті випаровування будуть розкладатися втрати вмісту кисню, причиною покриття плівкової композиції є низький оксид, що містить оксид титану, впливає на оптичні властивості тонких плівок, тому вибір відповідного флюсового кисню для TiO 2 оптичної тонкої плівки система покриття дуже важлива.

IKS-OPT 2700 оптична машина з вакуумним покриттям E-gun，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com