Відео розшифровує принцип роботи молекулярного насоса
Aug 06, 2019| Відео розшифровує принцип роботи молекулярного насоса
https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html
Як працюють молекулярні насоси?
принцип роботи:
Насосний механізм молекулярного насоса відрізняється від механізму механічного насоса, який спирається на зміну об'єму камери насоса для витягу повітря.
Молекулярний насос приводиться в рух двигуном для обертання з високою швидкістю. В області молекулярного потоку молекули газу стикаються з швидкісною поверхнею лопаті, і імпульс передається молекулам газу, так що частина молекул газу рухається в напрямку жорсткої поверхні тіла і виганяється з насоса , для досягнення мети витягу повітря. Зазвичай при високошвидкісному русі жорсткої поверхні тіла переносять молекули газу і змушують його рухатись у певному напрямку явища, відомого як явище молекулярної тяги, використовуючи це явище, виготовлене вакуумним насосом, відомим як тяговий молекулярний насос (гад-насос). Перевага тягового молекулярного насоса полягає в тому, що час пуску короткий, в стані молекулярного потоку має високий коефіцієнт стиснення, може видаляти всілякі гази і пари, особливо придатні для видобутку важчих газів. Однак, оскільки швидкість накачування тягового молекулярного насоса невелика, зазор ущільнювачів занадто малий, надійність роботи низька, легко піддається механічній несправності, а труднощі виготовлення, насправді, використовуються рідко. Пізніше тяговий молекулярний насос було вдосконалено і з'явився турбомолекулярний насос.
Турбомолекулярний насос містить безліч груп змінних лопатей ротора і нерухомих лопатей ротора, і на певному куті на кожному лопаті є багато похилих лопатей, як показано на фіг. 1. Фактичний турбомолекулярний насос складається з багатоступеневого каскаду, а саме: приводяче лезо, нерухома лопать і рухоме лезо розташовані по черзі. Рухомі лопаті діють як лопатки електричного вентилятора, коли вони обертаються, перекачуючи газ з однієї сторони на іншу. Збільшення швидкості молекулярного насоса сприятливо для покращення швидкості накачування молекулярного насоса. Через обмеження швидкості леза, якщо молекули газу рухаються швидше, важче накачати вакуум.
Видно, що турбомолекулярний насос - це також різновид механічного вакуумного насоса. Комбінація швидкодіючих багатоступеневих лопатей ротора турбіни та статичних лопатей використовується для витягу повітря, що створює високий коефіцієнт стиснення для видобутого газу в зоні молекулярного потоку, щоб отримати необхідну продуктивність вакууму. Кінцевий вакуум турбомолекулярного насоса вище, ніж дифузійний насос, до 10 ^ -8pa. При нормальній роботі потрібен певний ступінь вакууму передньої ступені, яка незначно змінюється в залежності від насоса, зазвичай становить від 1 до 200Па. Механічний насос можна використовувати як насос переднього ступеня. Агрегат високого вакууму складається з молекулярного насоса та механічного насоса. Через високу швидкість роботи турбомолекулярного насоса, як правило, він керується двигуном, якщо частота живлення, якщо частота живлення, становить від 300 до 400 Гц. Турбомолекулярні насоси зазвичай мають водяне охолодження.
Складний молекулярний насос - це серійне поєднання турбомолекулярного насоса і тягового молекулярного насоса, яке поєднує в собі переваги двох видів насосів в один і може знаходитися в широкому діапазоні тиску 10 ^ -6-1pa, з більшою швидкістю накачування і більш високий коефіцієнт стиснення, що значно покращує вихідний тиск насоса.
умови експлуатації :
(1) швидкість обертання досягає 20000 об / хв, тому час пуску молекулярного насоса відносно довгий.
(2) газ знаходиться в стані молекулярного потоку, тому його потрібно оснастити насосом передньої ступені. Як правило, насос із поворотним лопаткою використовується як насос переднього ступеня
Молекулярний насос:
Молекулярний насос для змащування масла: кількість мастила невелика, а у вакуумній секції колишньої стадії забруднення вакуумної камери невелике.
Молекулярний насос для змащування мастила: кількість мастила дуже мала, передстадійний сухий насос може отримати чистий вакуум майже без масла.
Молекулярний насос з повною магнітною суспензією: не потрібно змащувати, можна використовувати сухий насос, чисте середовище вакууму без масла.
Інші поширені програми:
1. Аналіз (мас-спектрометрія, електронний мікроскоп тощо)
2. Напівпровідники (електронні компоненти, інтегральні схеми, гнучкі сонячні батареї тощо)
3. Оптика / скло (термозахист, антивідбивання, відбиття, оптичний фільтр)
4. Покриття (захист поверхні, декоративна фарба, дисплей, екран)
5. Вакуумна металургія (вакуумна піч, вакуумна пайка, вакуумне спікання, вакуумний сплав)
6. Виявлення витоків (вакуумна система, паливний бак автомобіля, подушка безпеки)
7. Дослідницькі експерименти (медична магнітно-резонансна томографія, фізика ядерних частинок, дослідження термоядерного синтезу, лазерне застосування та багато іншого)
8. Галузева промисловість та суміжні галузі
IKS PVD, машина для нанесення покриттів використовує турбомолекулярний насос з магнітною левітацією. зв’яжіться з нами зараз, щоб отримати детальну інформацію про машину вакуумного покриття PVD, iks.pvd @ foxmail.com
