Який конкретний процес нарощування яскравості в магнетротрон розпилення принцип як AR газ іонізований
Apr 22, 2020| Який конкретний процес нарощування яскравості в магнетротронний принцип розпилення? Як AR газ іонізований?
Під дією застосовної напруги між позитивними і негативними електродами, атоми газу між електродами будуть іонізованим. У процесі іонізації, деякі AR атомів іонізується в AR + Іони і електронів. Електрони прискорюються в напрямку анода за допомогою електричного поля, і позитивно заряджені Іони AR + прискорити до катода мішені під дією електричного поля, і відпускання відповідної енергії в зіткнення з цільовою поверхнею. Одним з результатів впливу іонів з певною енергією на ціль є те, що атоми на цільовому поверхні набирають певну енергію і залишають цільову поверхню, щоб перейти до підкладки. У процесі розпилення, існують інші сліди частинок, в тому числі вторинного випромінювання електронів з катода.
Це газовий розряд, а напруга зазвичай знаходиться у верхніх кіловольт. Але магнетрон розпилення різні,
Під час магнетротронного розпилення, відбувається магнітне поле на поверхні мішені, тому електрони можуть бути пов'язані навколо мішені без втрати, утворюючи самопідтримуючі явища розряду, а напруга природно знижується до декількох сотень вольт. Під час самопідтримки розряду, більшість аргонова іонізація викликана бомбардування вільних електронів.
e-+ AR → AR + + 2 е-
Якщо ви цікавите природоохоронне покриття типу, зв'яжіться з нами зараз, E-mail:iks.pvd@foxmail.com,більш детальна інформація про PVD вакуумного покриття машини виробництва-Ікс PVD технології (Шеньян) Лтд