Аналіз енергонесучої здатності магнетронного розпилення цілей
May 24, 2018| 1. Цільова область та діапазон потужності навантаження
(1) Щільність потужності кругової плоскої магнетронної мішені, як правило, 1 ~ 25 Вт / см 2
(2) Щільність потужності прямокутної плоскої магнетронної мішені становить 1 ~ 36w / cm 2
(3) Щільність потужності стовпчастої магнетронної мішені та конічної плоскої магнетронної мішені (S gun), як правило, 40 ~ 50 Вт / см 2 .
2. Фактична несуча здатність магнетронної мішені
Окрім технології напилення та вимог щодо якості плівки, фактична потужність несучої магнетронної мішені також тісно пов'язана з умовами охолодження та умовами розсіювання тепла мішені.
Магнетронні мішені можна розділити на два типи: "пряма цільова охолоджування води" та "непрямий ціль охолодження води" на основі методу охолодження.
Враховуючи старіння мішені після довготривалого використання, вони знижують умови розсіювання тепла та враховують різні коефіцієнти теплопередачі різних цільових матеріалів, кінцеву силу навантаження магнетронної мішені та фактичну максимальну потужність прямої охолодження води можна встановити трохи менше верхньої межі діапазону щільності потужності. І фактичне максимальне навантаження непрямої охолоджувальної води може бути встановлено приблизно на половину верхньої межі діапазону щільності потужності.
Коли магнетронні мішені (головним чином Cu, Ag, Brass, Al бронза) "саморозпилюються", він зазвичай використовує магнетронне розпорошування, спеціально розроблене для "прямого охолодження води". Остаточна потужність для використання повинна бути більшою за верхню межу цільової потужності.