Основні технічні вимоги до обладнання для вакуумного нанесення покриттів
Jan 19, 2019| Основні технічні вимоги до обладнання для вакуумного нанесення покриттів
IKS PVD, купити PVD вакуумну машину для нанесення покриттів, контактуйте з нами зараз, iks.pvd @ foxmail.com
1. Структура вакуумних труб і статичних ущільнювальних деталей (фланців, ущільнювальних кілець тощо) в обладнанні повинна відповідати положенням GB / T6070.
2, в трубці з низьким вакуумом і високою вакуумом і вакуумному приміщенні для покриття повинні бути встановлені на вакуумному вимірювальному манометрі, щоб виміряти ступінь вакууму кожної частини. Коли виявлено, що електричне поле викликає перешкоди при вимірюванні, пристрій для екранування електричного поля повинен бути встановлений у вимірювальному порту.
3. Якщо основним насосом, який використовується обладнанням, є дифузійний насос, то на стороні повітряного входу насоса повинен бути встановлений уловлювач парів нафти .
4. Покриття приміщення обладнання має бути обладнане оглядовим вікном та перегородкою. Вікно спостереження має бути здатним дотримуватися робочого стану осадового джерела та інших ключових частин.
5, конструкція джерела осадження іонного покриття повинна бути, наскільки це можливо, для поліпшення швидкості іонізації в процесі нанесення покриття, поліпшення коефіцієнта використання матеріалів покриття, розумного узгодження потужності джерела осадження, розумного розташування джерела осадження у вакуумі розташування камери.
6, розумне розташування нагрівального пристрою, загальна конструкція нагрівальної конструкції має зробити рівномірне підвищення температури покриття заготовки.
7, рамку заготовки слід ізолювати вакуумною камерою, конструкція рамки заготовки повинна зробити плівку заготовки однорідною.
8, обладнання для нанесення іонів, як правило, має негативне зміщення електроживлення оброблюваної деталі та іонної бомбардування, джерело живлення іонної бомбардування повинно мати аномальний пристрій придушення розряду, щоб підтримувати стабільну роботу.
9. Величина опору ізоляції між частинами вакуумної камери, сполученої з різними потенціалами, повинна відповідати 4.4.6 у GB / t11164-1999
10. Інші питання, які потребують уваги
1) температура навколишнього середовища: від 10 до 30 оц
2) відносна вологість: не більше 750%
3) температура на вході охолоджуючої води не вище 25 ° С
4) якість води для охолодження, міська водопровідна вода, а точніше, якість води.
5) блок живлення: 380В трифазний 50Гц або 220В однофазний 50Гц (залежно від потреб електричних приладів); Діапазон коливань напруги: 342-399v або 198-231v; Діапазон коливань частоти: 49-51hz.
6) тиск, температура і витрата стисненого повітря, рідкого азоту, холодної води та гарячої води тощо, необхідні для обладнання, повинні бути вказані в інструкції з експлуатації виробу.
7) навколишнє середовище навколо обладнання повинно бути чистим і повітря повинно бути чистим. Пилу або газ, що викликає корозію на поверхні електричних приладів та інших металевих частин або викликає інтерметалічну провідність, не повинно існувати.