Загальний метод обслуговування вакуумного покриття машини
Apr 13, 2019| Загальний спосіб обслуговування машини вакуумного покриття
При виході з ладу вакуумного покриття необхідно спочатку * користувачеві зрозуміти явище невдачі, після завантаження дотримуватися несправності, щоб бути більш точним, швидшим, більш розумним усуненням несправностей.
Коли усунення несправностей у вакуумному покритті має виявитися низьким рівнем вакууму (механічний насос, насос коренів, труба, камера, випарник), низький вакуум нормальний для відкриття основного насоса, основний насос під нормальним після випробувань у вакуумній камері нормальний щоб відкрити високу камеру клапана під вакуумом використовується для виявлення високого вакууму виявлення витоків, до досягнення вакууму, обмеження вакууму, вакууму, вакууму, таких як межа вакууму і вакууму нормальний, і вакуум і вакуум не є нормальним щось не так з головним насосом.
Загальні збої та методи технічного обслуговування машини для вакуумного нанесення покриття наведені нижче:
Перший. Коли покриття відбувається, вакуум раптово зменшується:
1, випаровування джерела втрат води синтетичними кільцями (заміна) синтетичних
2, тигель носили (заміна тигля)
3, електродне ущільнення високої напруги було пробою (заміною) синтетичного
4, поворотний ущільнення пошкодження фартуків (заміни) синтетичного
5, пілотний клапан закритий раптово може бути два п'ятиходовий клапан пошкодження (дві п'ятипозиційний клапан заміни)
6, високий закритий клапан раптом може бути два п'ятипозиційний клапан пошкодження (дві п'ятипозиційний клапан заміни)
7, час простою механічного насоса може бути роз'єднанням реле (перевірте, чи є реле нормальним)
8, випічки свинцевого електродного ущільнення пробивали (замінювали) синтетичними
9, динамічне ущільнення перегородки відбиває пошкодження (заміни) синтетичного
10, тріщина скляного спостереження за лінзою, Смажена тріщина (замінити скло)
Два. Довготривале час вакуумного нанесення машини дуже довго і не може досягти вакууму, відновлення вакууму, обмеження вакууму, вакуумного захисту:
1, камера випаровування має багато пилу (слід стерти) 2, нафтовий дифузійний насос протягом тривалого часу не змінюється (слід стерти заміну масла) 3, низький механічний насос вакуумний насос до надто великого тиску, слід стерти масло зміна) 4, динамічне пошкодження ущільнювального кільця (заміна) синтетичного 5, внаслідок випаровування камери занадто високою протягом тривалого часу, щоб зробити його ущільнення старіння (заміни) синтетичного 6, випарної камери введення водяного ущільнення для фартухів пошкодження (заміни) синтетичного 7, введення гвинта, гайки розпушеного явища (зворотного тиску) 8, високий і низький розрахунковий клапан є надійним ущільненням (масло)
Загальний спосіб обслуговування вакуумного покриття для машин - тут.
Будь-яке питання про PVD технології вакуумного покриття, ласкаво просимо контактувати з нами зараз, iks.pvd @ foxmail.com
