Спільна несправність магнітронного розпилення фільму

Фільм сірий і темний

1. Ступінь вакууму нижче 0,67 Па. Ступінь вакууму слід збільшити до 0,13-0,4 Па.

2. Чистота аргону становить менше 99,9%. Використовуйте аргон з чистотою 99,99%.

3. Надувні системи витоку. Система інфляції повинна бути перевірена для усунення витоків.

4. Грунтовка не повністю вилікувана. Час витримки грунту слід належним чином розширити.

5. Кількість газу, що виділяється з покривної частини, є занадто великою. Камеру слід сушити та запечатати

Потужна і тупа поверхня

1. Час розпилення занадто довгий. Час слід належним чином скоротити.

2. Швидкість розпилення та формування плівки надто швидко. Правильно зменшіть струм розпилення або напругу.

Нерівномірний колір покриття

1. Фільм занадто тонкий. Будь ласка, збільшіть швидкість розпилення або час розпилення.

2. Ірраціональний дизайн арматури. Конструкція кріплення повинна бути вдосконалена.

3. Геометрія підкладки занадто складна. Будь ласка, належним чином збільште швидкість обертання підкладки.

Плівка має зморшки або тріщини

1. Швидкість випаровування надто швидко. Це повинно бути належним чином сповільнено.

2. Фільм занадто товстий. Час розпилення має бути належним чином скорочений.

3. Температура підкладки занадто висока. Будь ласка, скоротити час нагрівання підкладки.

Поверхня плівки має водяні знаки, відбитки пальців та частинки сажі

1. Після чищення субстрат недостатньо висох. Попереднє лікування має бути посилено.

2. Поверхню субстрату плескають водою або слиною. Оператори повинні носити маски.

Слабке зчеплення

1. Бідне знежирення деталей покриття. Попереднє лікування має бути посилено.

2. Вакуумна камера не чиста. Вакуумну камеру слід чистити. Зверніть увагу, що під час завантаження та розвантаження цілей суворо заборонено користуватися руками або іншим нечистим об'єктом, це торкнутися джерела магнетрону.

3. Прилад не чистий. Стійку слід чистити.

4. Неправильне управління умовами процесу напилення. Будь ласка, покращте умови розпилення.