Історія розвитку історії розвитку молекулярних насосів
May 23, 2018| 1. Ранній молекулярний насос
У 1912 році німець W.Geede винайшов перший в світі молекулярний насос, діаметр його ротора 50 мм, а на ротарах - 8 слотів різних розмірів. Обертальна швидкість складає 12 000 р / хв, а швидкість накачування - близько 1,5 л / с. Принцип роботи цього раннього насоса такий самий, як і в сучасному молекулярному насосі, але його швидко усунути через велику кількість несправностей, тому його не було популяризувати.
У 1926 році М. Сігбан розробив дизельний молекулярний насос в університетській лабораторії Швеції. Її структура подібна до молекулярного насосу сучасного тягового типу. Корпус насоса має спіральні канавки, а ротор - диск. У 1939 році LE BOLD випускає два насоси діаметром 540 мм. Розміри паз 22 мм x 22 мм зсередини та 22 мм х 1 мм зовні. Обертальна швидкість складає 3700r / min, а швидкість нагнітання - 73л / с.
Ранні молекулярні насоси - це всі молекулярні насоси з тяговим приводом. Маючи недоліки великих об'ємів, низьку швидкість завантаження, малі пробіли та багато несправностей, на нього поширюються багато обмежень у застосуванні, тому його можна використовувати лише на деяких спеціальних полях і не поширюватися.
2. Народження турбомолекулярних насосів
У 1957 р. В. Бекер з PFEIFFER GmbH у Німеччині винайшов новий молекулярний насос, названий турбомолекулярним насосом. Горизонтальна конструкція та порожнина насоса обладнані динамічними та статичними рядами леза. Газ потрапляє через впускний порт в центрі насоса і проходить через всмоктуючий канал до обох боків корпусу насоса. Стиснене повітря скидається через випускний отвір після стискування масивом листів. Ротор цього турбомолекулярного насоса складається з 19 лезових рядів. Як показано на малюнку 2, діаметр - 170мм, обертальна швидкість 16000р / хв, а швидкість нагнітання 140л / с.
У 1966 році Корпорація SENCMA у Франції розробила вертикальний турбомолекулярний насос з 14 лезами, діаметр ротора 286 мм, обертальна швидкість 12 000 р / хв та швидкість нагнітання 650 л / с, що створює вертикальний вертикальний турбомолекулярний насос.
У Японії є багато виробників молекулярних насосів, які мають сильну здатність проектувати та виробляти молекулярні насоси. У 1971 р. Інститут фізико-хімічних досліджень Японії успішно розробив 13 молекулярних насосів, що обертаються, і 12 стаціонарних моторних насосів роторного ротора, діаметр ротора 300 мм, а обертальна швидкість 12 000 об / хв. У 1990 році Японська вакуумна компанія "Осака" вперше успішно розробила великомасштабний молекулярний насос зі швидкістю накачування 25000 л / с.
В даний час основна структура сучасних молекулярних насосів горизонтальна та вертикальна. Горизонтальний молекулярний насос має переваги однорідної сили ротора, хорошого положення сил позиціонування підшипників, тривалого терміну служби, стаціонарного положення ротора під час заміни підшипників та легкого обслуговування. Але процес монтажу вертикального молекулярного насоса простіший, ніж горизонтальний молекулярний насос, тому швидкість розвитку вертикального молекулярного насоса в останні роки дуже швидко.
3. Сучасний молекулярний насос
З моменту народження молекулярного насоса сталася історія майже сто років. Завдяки безперервному розвитку різних наук та технологій, технологія молекулярного насоса також зробила багато нововведень та досягнень. Сучасний молекулярний насос більш інтелектуальний, гнучкий і ефективний.
В останні роки, при швидкому розвитку теорії управління та комп'ютерних технологій, що застосовуються до молекулярних насосів, молекулярні насоси контролювалися комп'ютером і реалізували дистанційне керування насосом. У той же час, на основі інформаційних технологій системи безпеки та моніторингу привели до розвитку молекулярних насосів у напрямку інтелекту.
Швидкість накачування є основним параметром молекулярного насоса. Підвищення швидкості обертання є одним з найбільш прямих методів підвищення швидкості накачування. З розвитком динамічної технології балансування ротор молекулярного насоса може плавно працювати на надвисокій швидкості. І з розвитком матеріалознавства також змінився матеріал ротора молекулярного насоса, він може бути виготовлений з твердого алюмінієвого сплаву, вуглецевого волокна, титанового сплаву та інших матеріалів з високим ступенем твердості, що додатково покращує швидкість обертання ротора.
В останні роки, з розвитком напівпровідникової промисловості, молекулярний насос вимагає безперервного вичерпування великої кількості газу в середовищі високого тиску та забезпечення чистого вакууму у багатьох випадках. Продуктивність традиційних турбомолекулярних насосів у цьому середовищі впала значно, і важко гарантувати результати проектування. Для того, щоб молекулярний насос пристосувався до робочого середовища високого тиску, на оригінальний турбо молекулярний насос додають частину тягового молекулярного насоса, а турбомолекулярний насос і кінцевий молекулярний насос послідовно з'єднуються, утворюючи композитний молекулярний насос ( як показано на рисунку 3) з перевагами як турбомолекулярного насоса, так і кінцевого молекулярного насоса.
Крім того, останнім часом з'явився ряд нових типів молекулярних насосів, таких як низькотемпературні молекулярні насоси, здатні ефективно витягати молекули води, керамічні молекулярні насоси, які можуть працювати в умовах сильних магнітних полів і сильних корозійних умов, а також молекулярні насоси магнітної суспензії з перевагами безконтактної підтримки, високої ефективності та високої якості.