Джерела покриття випаровуванням мають три типи

Джерела випаровувального покриттяматитри типи.
(1) опір джерела нагріву: з тугоплавкими металами, такими як вольфрам, тантал, виготовлений з фольги або філамату, через струм, нагріваючись у ньому або розміщений у тиглі випарному матеріалі, опір джерела нагріву в основному використовується для випаровування Cd, Pb , Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni та інші матеріали;
(2) високочастотне індукційне джерело нагріву: високочастотний індукційний струм, що нагріває тигель та речовини, що випаровуються;
(3)Джерело нагрівання електронним пучком: підходить для високої температури випаровування (не менше 2000 [618-1]) матеріалу, тобто матеріалу для бомбардування електронним пучком, щоб він випаровувався.
Порівняно з іншими методами вакуумного нанесення покриття випарне покриття має вищу швидкість осадження і може бути використано для приготування плівкових композицій з елементарною речовиною та важким термічним розкладанням.
Для осадження монокристалічних плівок високої чистоти можна використовувати молекулярно-променеву епітаксію. Пристрій для молекулярно-променевої епітаксії з легованого зростанням монокристалічного шару GaAlAs. Струменева піч оснащена молекулярним джерелом променя. При нагріванні до певної температури в надвисокому вакуумі елементи в печі молекулярним потоком стріляють до підкладки. Коли субстрат нагрівається до певної температури, молекули, що осідають на субстраті, можуть мігрувати і вирощувати кристали відповідно до гратчастого порядку субстрату. Монокристалічні монокристалічні плівки високої чистоти з бажаним стехіометричним співвідношенням можуть бути отримані методом молекулярно-променевої епітаксії. Найнижчий темп зростання плівки можна контролювати на рівні 1 моношару в секунду. Керуючи перегородкою, можна точно зробити бажаний склад і структуру монокристалічної тонкої плівки. Молекулярно-променева епітаксія широко використовується у виробництві різних оптичних інтегрованих приладів та плівкових структур з гратчастою структурою

Компанія IKS PVD, машина для декоративного нанесення покриттів, машина для нанесення інструментів, машина для оптичного покриття, лінія для вакуумного нанесення PVD, проект під ключ. Зв’яжіться з нами зараз, електронна пошта: iks.pvd@foxmail.com