Вплив параметрів процесу магнетронного розпилення - швидкість потоку N2
Sep 03, 2024| Вплив параметрів процесу магнетронного розпилення - швидкість потоку N2
Хімічний склад, мікроструктуру та різні властивості четвертинного покриття (Cr, Ti, Al) N можна регулювати шляхом зміни швидкості потоку N2. Дослідники виявили, що зі збільшенням потоку N2 вміст азоту та вміст твердої фази нітриду в покритті (Cr, Ti, Al) N також збільшиться, а твердість, модуль пружності, несуча здатність і сила зв’язування плівки з основою також збільшаться. покриття також відповідно збільшиться, що може ефективно зменшити шорсткість поверхні, коефіцієнт тертя та швидкість зношування покриття. Значно підвищити зносостійкість покриття [57-58]. Однак із подальшим збільшенням потоку N2 тиск розпилення зростає, середня довжина вільного пробігу іонів зменшується, а втрати енергії іонами збільшуються, що вплине на якість кристалізації та структуру плівкоутворення покриття, що призведе до зменшення твердість покриття [59]. Дослідники також виявили, що зі збільшенням потоку N2 швидкість осадження четвертинних покриттів (Cr,Ti,Al)N показала тенденцію спочатку до збільшення, а потім до зменшення [60]. Це пояснюється тим, що збільшення швидкості потоку N2 збільшить ступінь реакції цільових частинок з N2 і, таким чином, збільшить швидкість осадження покриття. Однак збільшення швидкості потоку N2 також збільшить тиск розпилення, а ефект розсіювання пучка частинок (включаючи розпилюючі частинки, які бомбардують мішень і осаджені частинки на плівкоутворюючій поверхні) збільшиться, що призведе до зменшення кількості осаджені частинки досягають поверхні підкладки за одиницю часу, тому швидкість осадження покриття також демонструватиме тенденцію до зниження. Крім того, занадто високий парціальний тиск N2 призведе до утворення більшої кількості нітридних фаз на поверхні мішені, що збільшить ступінь отруєння мішені, що також вплине на швидкість осадження покриття.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриття, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com