Процес нанесення (Cr, Ti, Al) N градієнтного покриття магнетронним розпиленням
Sep 12, 2024| Процес осадження (Cr,Ti,Al)N градієнтного покриття магнетронним розпиленням
Наразі типовий процес магнетронного розпилення для (Cr,Ti,Al)N градієнтного покриття можна розділити на наступні етапи:
Очищення за допомогою іонного розпилення: бомбардування іонами Ar може видалити такі домішки, як оксиди, на поверхні підкладки, а також активувати поверхню заготовки.
Осадження металевого шару Cr: почніть ціль Cr і нанесіть нижній шар чистого металу Cr. Між металевим шаром Cr і підкладкою існує хороша сила зв’язку, а осадження шару Cr може уникнути прямого контакту між елементом N і матрицею Fe, усунути загальні дефекти самоосвітлюючого шару в покритті та покращити крихкість покриття.
Cr-CrN Поступовий перехідний шар: шляхом введення N2 і регулювання швидкості потоку N2 відносний вміст елемента Cr у покритті поступово зменшується, а вміст елемента N поступово збільшується, таким чином реалізуючи перехід компонента N між базовим шаром Cr і CrN шару, ефективно уникаючи негативного впливу мутації компонентів на міцність зв’язування покриття та покращуючи перехід між внутрішнім і зовнішнім шарами покриття. У той же час шар CrN також може покращити ударостійкість покриття;
Осадження CrN- (Cr,Ti,Al) N градієнт проміжного шару: ціль Ti та Al ціль поступово запускаються, і швидкість потоку N2 регулюється для збільшення вмісту N елемента в покритті та вмісту Al і Ti елемент також поступово збільшується, так що композиція середнього шару змінюється градієнтом. Оскільки немає очевидної різкої межі, проблему концентрації напруги всередині покриття можна вирішити. Це добре впливає на зменшення внутрішньої напруги покриття та покращує силу зчеплення та механічну міцність покриття.
Різноманітне осадження (Cr, Ti, Al) Верхній шар N: Верхній шар CrAlTiN зберігає параметри процесу незмінними, осадження рівномірне, щільне, а склад кожного елемента стабільний, усуваючи дефекти, викликані сегрегацією складу, і відповідаючи вимоги щодо використання ріжучих інструментів та інших механічних частин.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, оптична машина для нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв’яжіться з нами зараз, напишіть електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com