Джерело живлення магнетронного розпилення
Aug 01, 2024| Джерело живлення магнетронного розпилення
З точки зору форми вихідного сигналу, з розвитком самої технології магнетронного розпилення, він випробував кілька способів постійного струму, уніполярний імпульс, симетричний біполярний імпульс (середньочастотний джерело живлення магнетронного розпилення) та біполярний імпульс (асиметрична потужність магнетронного розпилення середньої частоти). постачання). Наразі нове джерело живлення для магнетронного розпилення виготовлено за технологією високочастотного інверторного імпульсного джерела живлення, а джерело живлення для магнетронного розпилення середньої частоти стало переважним джерелом живлення для нового обладнання для магнетронного розпилення. Для точного контролю товщини шару плівки блок живлення магнетронного розпилення повинен працювати стабільно і мати хороші постійні характеристики. В даний час в основному використовується режим постійного струму, також існує режим постійної потужності, але рідко використовується режим постійної напруги. Крім того, суттєвою перевагою технології магнетронного напилення є те, що плівковий шар є щільним і якісним. Щоб досягти цієї переваги, необхідно суворо обмежити кількість разів збудження та енергію кожного збудження на поверхні мішені під час процесу магнетронного розпилення, а також мінімізувати кількість макроскопічних частинок мішені, викликаних моментом збудження, що зменшить щільність і обробку шару плівки, і серйозно призведе до падіння плівки
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, оптична машина для нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв’яжіться з нами зараз, напишіть електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com