Діапазон вимірювання іонізаційного вакуумметра з гарячим катодом

Хоча діапазон вимірювання іонізаційного вакуумметра з гарячим катодом може сягати 10-2~10-11мбар, коли тиск надто високий, співвідношення між потоком частинок і тиском буде відхилятися від лінійного та матиме тенденцію до насичення. Щоб розширити діапазон вимірювань, вакуумметр Пірані зазвичай використовується на початковій точці насоса (у разі надмірного тиску).

Крім того, нижня межа вимірювання звичайних іонізаційних вакуумметрів з гарячим катодом становить близько 10-6Па порядку величини: коли анод затвора бомбардується електронами, генерується м’яке рентгенівське випромінювання, а фотоелектронне випромінювання відбувається, коли іон колектор отримує цей промінь. Оскільки фотон, випромінюваний колектором, еквівалентний іонам, які він збирає, у ланцюзі колектора іонів утворюється незалежний від тиску фоновий фотострум, який під час вимірювання відображається показником тиску приблизно 10-6Па. Щоб усунути ефект фонового фотоструму та розширити межу вимірювань іонізаційного вакуумметра з гарячим катодом, іонізаційного вакуумметра BA (межа вимірювання може досягати 10-8Па), вакуумметра з придушенням (теоретично може досягати {{6} }Па), модульований вакуумметр (10-10Па), роздільний вакуумметр (10-11Па) тощо.

Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com