Модель та розмір часто використовуваного CF фланця

Існує опуклий гострий край на внутрішній частині CF фланця, який герметизується, стискаючи мідну прокладку без кисню (або іншого м'якого металу), щоб забезпечити вакуумну герметизацію. Це метод металозахисту, який широко використовується в надвисокій вакуумній системі. CF фланці також часто називають фланцями МКФ. Кількість позаду CF є стандартним внутрішнім діаметром катетера, а число за ICF - зовнішній діаметр фланця. Таблиця 1 - типи та розміри часто використовуваних фланців CF.

Фланець CF розділений на фіксований і розшарований тип. Фіксований фланець має вбудовану конструкцію. Фланець вільного типу складається з ножового краю екструдованої мідної шайби та фіксованої частини, що через болт. Через отвір або різьблене отвір можна постукати на фланці. Фланець з прохідним отвором повинен бути закріплений болтом та гайкою, тоді як фланець з різьбовим отвором повинен бути безпосередньо закріплений болтом. Матеріал фланця - переважно SUS304 (або SUS304L), оскільки SUS304 виділяє менше газу, і його легко обробляти та зварювати.

Таблиця 1 Моделі та розміри часто використовуваного CF фланця

Примітка: для n × d, n відноситься до кількості отворів, а d - діафрагма (мм).

Фланці CF характеризуються як чоловічим, так і жіночим, а всі деталі - мідні прокладки без кисню, виготовлені з металу, тому вони можуть витримувати високі температури (вище 250 ° С). Недоліком є те, що ціна висока, а мідна прокладка без кисню не може використовуватися багаторазово.

Встановлення CF фланця

Вимоги монтажу фланця CF досить високі. Оскільки мідна прокладка, яка не містить кисню, деформується після стискування, дуже важливо затягнути болт з однаковою силою. Якщо болти не рівномірно натиснуті, фланці в протилежних кутах будуть нахилені так, що система буде витікати. Момент затягування болта приблизно виглядає наступним чином: болт М4 20 кгс · см, болт М6 70 кгс · см, болт М8 100 кгс · см.

Застереження CF фланця

При використанні CF-фланця, слід відзначити кілька моментів: Болт повинен бути покритий MoS2, щоб запобігти защемленню болта та гайки. Фланець повинен бути вирівняний по зовнішній окружності. Поверхню фланця слід утримувати на відстані, щоб забезпечити місце для подальшого затягування болта після випікання.

Для CF-фланця лопаті слід нарізати на металеву пломбу, щоб забезпечити вакуумне ущільнення. Для довготривалого використання лопаті поступово стають тупими. Крім того, лопатка чутлива до пошкоджень після того, як вона потрапила відновлювачем. Одним із способів є використання металевої пломби IPD. Металеві ущільнення IPD не покладаються на край фланця, але залежать від нахилу краю ножа, щоб його закріпити.