Примітки для обслуговування обладнання для вакуумного нанесення покриттів
Feb 12, 2019| Примітки для обслуговування обладнання для вакуумного нанесення покриттів
IKS PVD залишається у вас, щоб бути обережним при використанні машини вакуумного покриття.
На що слід звернути увагу при обслуговуванні обладнання для вакуумного нанесення покриттів?
1. Як правило, вся система повинна зберігатися у вакуумі, а газ повинен бути заповнений до початку роботи, а вакуумна камера не повинна довго піддаватися впливу атмосфери;
2, часто перевіряють, чи добре гумове ущільнення, особливо динамічне кільце ущільнення, регулярно додайте вакуумну мастило до динамічного ущільнення;
3. Регулярно перевіряйте електричні компоненти, видаляйте пил і замінюйте пошкоджені компоненти;
4. Не знімайте дифузійний насос і клапан у вакуумі. Метод розбирання полягає в наступному: по-перше, прокачати всю вакуумну систему до стану вакууму, звернути увагу, щоб не нагрівати дифузійний насос, вручну відкрити клапан дрібного вилучення, а потім натиснути кнопку розвантаження, щоб заповнити систему в атмосферу, після цього розбирають дифузійний насос і клапан після того, як вакуумна камера заповнена атмосферою;
5. При зупинці поворотного крильчатого насоса і насоса клапанного клапана зверніть увагу на те, чи електромагнітний клапан (або пневмоклапан) накачується в камеру насоса, або це призведе до повернення масла і забруднення вакуумного трубопроводу. Таким чином, електромагнітний клапан (або пневматичний клапан) відмова від дії інфляції, повинен бути своєчасним ремонтом або заміною;
6. Для північного регіону, в холодну пору року, коли автобус зупиняється вночі і протягом тривалого часу, охолоджуюча вода повинна бути виведена з охолоджувальної труби і корпусу насоса зі стисненим газом, щоб уникнути замерзання і розтріскування труби охолоджуючої води ( куртка) і корпус насоса;
7. Система тонкої накачування може працювати тільки після того, як тиск вакууму досягає 3Pa. Якщо насос перекачується під надто високим тиском, він окислює масло дифузійного насоса, зменшує продуктивність насоса і скорочує термін служби масла насоса.
8, для того, щоб забезпечити, щоб вакуумне обладнання для нанесення покриттів було чистим робочим середовищем, випускний газ насоса ковзного клапана повинен використовуватися для його виведення з робочого приміщення, оскільки газ з насоса ковзного клапана містить багато дрібного туману. Якщо вона не вийшла з робочого приміщення, то в навантаженому покриті заготовку, хоча на поверхні заготовки після ретельного очищення все ще незабаром буде мале забруднення масляним туманом, серйозний вплив на якість плівки;
9. Вода не повинна бути відключена в процесі роботи, а використовувана охолоджуюча вода повинна бути чистою, а тверда вода або каламутна вода не повинна використовуватися в якості охолоджуючої води, інакше в охолоджуючій воді буде нанесений шар окалини. труби, що впливають на охолоджуючий ефект.
10. Суворо забороняється стояти в межах 500 ММ, коли обертається тримач деталей, і він надійно стоїть поруч, коли він зупиняється!