PECVD-тиск повітря

Jul 09, 2023|

Коли утворюється плазма, тиск газу занадто великий, реакційний газ в установці збільшується, тому швидкість збільшується, але в той же час тиск повітря занадто високий, середня довжина вільного пробігу зменшується, що не сприяє покриття осаджуваної плівки на сходинці. Занадто низький тиск повітря вплине на механізм осадження плівки, що призведе до зменшення щільності плівки та легкого утворення дефекту голки. Коли тиск повітря занадто високий, реакція полімеризації плазми, очевидно, посилюється, що призводить до зниження регулярності росту мережі та збільшення дефектів.

Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com

11

Послати повідомлення