Загальні проблеми обладнання PECVD - Низька швидкість осадження
Jul 04, 2023| Загальні проблеми обладнання PECVD - Низька швидкість осадження
(1) Якщо вхідна радіочастотна потужність є невідповідною, відрегулюйте радіочастотну потужність.
(2) Якщо температура зразка є ненормальною, перевірте, чи потік охолоджуючої води та температура є нормальними.
(3) Тиск у вакуумній камері низький, відрегулюйте потік технологічного газу.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com
Послати повідомлення