Фактори, що впливають на якість процесу PECVD, в основному включають наступні аспекти
Jul 06, 2023| При виборі відстані між контактними площадками в порожнині PECVD слід враховувати два фактори:
(1) Напруга освітлення: вибір інтервалу має зробити напругу освітлення якомога нижчою, щоб зменшити потенціал плазми та зменшити пошкодження підкладки.
(2) відстань між пластинами та тиск повітря в порожнині: коли відстань між пластинами велика, пошкодження підкладки невелике, але відстань не повинна бути занадто великою, інакше це збільшить крайовий ефект електричного поля та вплине на однорідність осадження. Розмір реакційної камери може збільшити продуктивність, але він також впливає на рівномірність товщини.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com
