PECVD-температура підкладки

Jul 10, 2023|

Вплив температури підкладки на якість плівки в основному полягає в локальній щільності стану, рухливості електронів і оптичних властивостях плівки. Підвищення температури підкладки сприяє компенсації зв’язку суспензії на поверхні плівки, і щільність дефектів плівки зменшується.

Температура підкладки мало впливає на швидкість осадження, але сильно впливає на якість плівки. Чим вище температура, тим більше щільність плівки осадження, тим вище температура посилює реакцію поверхні і покращує склад плівки.

 

Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com

20230422080624

Послати повідомлення