Проблеми та рішення DLC покриття
Mar 20, 2018| Властивості покриття ОДО
Продуктивність DLC є між алмаз і графіту, яка показує висока жорсткість та відмінні тертя, як і гарний анти-клейкою властивості.
◆ Механічні властивості:
Високою твердістю, висока еластичність модуль, високу теплопровідність, коефіцієнт низького температурного розширення, низької щільності, відмінний зносостійкість і низький коефіцієнт тертя.
◆ Електричні властивості:
Низький спорідненість до електрона, висока Питомий, низький діелектрику константа
◆ Оптичні властивості:
Високого пропускання у видимого світла і ближній інфрачервоній області, низької оптичної забороненої зони, заломлення є 1,7 до 2.4, висока лазерного пошкодження порогу.
◆ Хімічні властивості:
Хороший біосумісність, ультра-висока хімічна інертність, кислот і лугів опору, добре гідрофобізація.
Проблеми та рішення DLC покриття
Проблеми
◆ Висока внутрішні напруги
За нормальних обставин, внутрішні напруги, пружності і твердість покриття є прямо пропорційна один до одного, так що чим вище твердість покриття, тим більше внутрішнє напруження. ОДО фільм має дуже високою твердістю, а також висока внутрішні напруги, що робить адгезії DLC фільму до підкладки знижує, і Крім того, він обмежує максимальну товщина стабільний фільм, який може зберігатися на підкладку. Крім того, рівномірність плівкою товщиною також впливає на внутрішні напруги.
◆ Бідні термічна стійкість
ОДО, як правило, метастабільний фази non кристалічною структурою. Таким чином, під час підвищення температури, ОДО покриття буде графітовані, тобто sp3 Бонда звертаються до sp2 Бонда, в результаті структуру і характеристики покриття DLC буде змінено.
Рішення
◆ Багатошарові плівки
Нанесення багатошарових плівках Ti, ТІЦ, ОДО і Ti/олово/TiCN/DLC на підкладку можна значно зменшити внутрішні напруги між DLC покриття і підкладки.
◆ Градієнтні фільм
Депозит градієнт перехідний шари Cr/CrN/CrNC/КПР/Cr-DLC і Ti/олово/TiCN/ТІЦ/Ti-DLC технологіхо ion джерело і напилення відкладення на підкладку може ефективно зняти стрес і ефективно підвищення міцності зв'язків між покриття і підкладки.
◆ Допінг
Допінг тугоплавких неметалевих (N, B, Si) можна скоротити внутрішнє напруження DLC покриття і поліпшити термоокислювальна стабільність. Допінг металеві (Cr, Ti, W) може поліпшити твердість і зносостійкості DLC покриття, і скоротити його коефіцієнт тертя.