Інструкція з експлуатації вакуумного нанесення машини PVD

Інструкція по роботі з вакуумним покриттям PVD

запуску

1. Перевірте, чи розблоковано водний шлях, і підтвердьте, що градирні і радикальні насоси працюють нормально (тиск води має бути вище 0,4 мпа).

2. Перевірте, чи є повітряний тракт чітким, і перевірте, чи повітряний компресор працює нормально (тиск повітря повинен досягати 0,5 мпа).

3. Увімкніть вимикач живлення, увімкніть перемикач "пуск" і "підтримуйте насос", а коли вимірювач термопари датчика вакууму нижче 10pa, увімкніть чотири перемикача "регулятора температури дифузійного насоса 1, 2 "і" дифузійний насос 1, 2 ". Тобто нагрівання дифузійного насоса (близько 1 години).

4. Після закінчення часу нагрівання близько 10 хвилин запустіть низькотемпературну пастку. Після 6-хвилинного часу охолодження натисніть F1 для запуску низькотемпературної пастки. Після досягнення встановленої температури на регуляторі температури можна виконувати нормальну виробничу операцію.

виробництво та експлуатація

1. Переконайтеся, що матеріал плівки, нитка джерела іонів і рама заготовки у вакуумній камері були розміщені за потребою.

2. Увімкніть "грубий насос", переключіть автоматичну передачу повітря на автоматичну передачу, увімкніть перемикач "Автоматичний повітряний екстрактор" і зачекайте, поки двері вакуумної камери закриються.

3. Коли насос коренів автоматично запускається, натисніть низькотемпературну пастку "F2", щоб почати функцію охолодження пастки.

4. Ця операція повинна відрізнятися від процесу і відбуваються серйозні зміни, тут немає детального опису, тобто.

5. Процес завершений, закрийте пістолет, джерело іонів (необхідно XianGui нульовий потік живлення, а потім закрити джерело живлення), такі як перемикач, відкрити автоматичний повітряний вимикач, після того як тонкий всмоктуючий клапан закритий, автоматичне вилучення ручний перемикач на ручний (тут крім необхідного повідомлення для підтримки насоса, дифузійний насос, перекачування, чотири перемикання завантаження натискаються, інший ніколи не натискає перемикач, щоб уникнути помилки, викликаної дифузійним насосом, що піддається впливу атмосфери!) Натисніть на пастку F3, щоб увімкнути функцію повернення температури. Коли температура низькотемпературної пастки підвищується до більш ніж 30 градусів Цельсія, відкрийте "заповнювальний клапан". Коли двері вакуумної камери відкриються, закрийте "заповнюючий клапан". (примітка: категорично забороняється змішувати "автоматичне відкачування повітря" з перемикачем "автоматична зарядка повітря")

6. Наведений вище цикл є нормальним процесом роботи.

закривається

1. Закрийте дверцята вакуумної камери до певного вакууму та закрийте всі перемикачі, крім вимикача "стоп".

2. Блок живлення, повітряний компресор, градирня і радикальний насос можна вимкнути тільки після того, як машина вакуумного покриття охолоне протягом однієї години.

Примітка: всі вищеописані операції повинні виконуватися суворо і не можуть бути змінені без дозволу. Якщо машина для нанесення покриттів пошкоджена або пошкоджена внаслідок неправильної експлуатації, оператор буде нести відповідальність за це.

Попередження: у цій машині є багато трансформаторів високої напруги, напруга до 8 кВ, щоб уникнути нещасних випадків, не відкривайте захисні двері під електричним шафою і вакуумною камерою без дозволу.

Примітка: Наведена вище інструкція не може бути придатною для всіх машин для нанесення покриттів PVD.