Вакуумне покриття PVD феромагнітних цільових матеріалів
Feb 18, 2019| Вакуумне покриття PVD з феромагнітних матеріалів-мішеней
IKS PVD, Виробництво обладнання для вакуумного нанесення PVD, контакт: iks.pvd@foxmail.com
Складність магнітної мішені у вакуумі PVD Покриття полягає в тому, що магнітне поле на поверхні мішені не може досягти напруженості магнітного поля, необхідного для нормального вакуумного покриття. Отже, рішення полягає в збільшенні інтенсивності залишкового магнітного поля на поверхні феромагнітної мішені для того, щоб відповідати вимогам розміру магнітного поля на поверхні мішені при нормальному розпилювальному роботі.
Існує кілька способів реалізації PVD вакуумного покриття:
1. Конструювання і вдосконалення матеріалу-мішені (зменшення товщини феромагнітного матеріалу-мішені є загальним рішенням для матеріалу-мішені ПВД-вакуумного покриття феромагнітного матеріалу). ;
2. Підвищення впливу магнітного поля PVD вакуумного катодного покриття;
3. Зменшити магнітну проникність матеріалу-мішені;
4. Розроблений новий магнетронний катодний пристрій;
5. Розробка нової вакуумної гальванічної системи;
6. Комплексне проектування матеріалу мішені і магнетронного розпилення катодного пристрою.