Швидкий судження про витоку
May 22, 2018| 1. Перевірте ущільнення дверей.
Перевірте, чи є пошкодження, домішки чи пил. Якщо це так, обережно протирайте дверцевий ущільнювач, а потім рівномірно нанесіть високу вакуумну мастило.
2. Перевірте, чи несправний насос.
Методи:
● Спостерігайте за масляним вікном механічного насоса. Рівень масла високий, а масло - спрей, низький рівень масла впливає на змащення, впливає швидкість нагнітання системи та пошкодження обладнання .
● Спостерігайте, чи є колір масла чистим. Якщо він чорний, це показує, що в порожнині насоса є домішки або стирання; якщо колір масла білий; це показує, що є охолоджувана мастила змішана, це вплине на змащення і герметичність, а також впливає швидкість нагнітання, що призводить до швидкого закачування.
● Перевірте електромагнітний клапан механічного насоса. Утримуйте на вході впуск електромагнітного клапана вручну. Якщо є споживання повітря, клапан пошкоджений, і його потрібно замінити.
● Виміряйте час попереднього відкачування механічного насоса. У нормальних умовах ступінь вакууму 3-4 хвилини може бути закачаний до 10 Па. Якщо час перекачування є довшим, це означає, що механічний насос викликає повільну швидкість завантаження.
3. Перевірте дифузійний насос та електричну піч.
● Перевірте, чи зменшується температура електричного шафи, електричний дріт неповний, а температура печі є придатною.
● Перевірте, чи витікає головний вал рами, а вакуум з'єднувального датчика визначає, чи він протікає.
● Перевірте вакуумний клапан у верхній частині вакуумної камери, щоб перевірити наявність витоків.
Якщо жоден із наведених вище способів не виявив зони витоку, необхідно провести виявлення витоків ацетону, розпорошити ділянку, де може виникнути витік, перевірити точку витоку та своєчасно виправити.