Структура вакуумного датчика опору (вакуумний калібр Пірані)

Манометр опору вакууму, також відомий як датчик Пірані, відображає зміни тиску на основі змін резистентності до гарячих ниток. В основному це складається з вимірювальних та вимірювальних схем. Діапазон вимірювань - від 104 до 10-1 Па.

Структура датчика опору показана на малюнку 1. Циліндрична спіральова гаряча дріт з високотемпературним коефіцієнтом стійкості дроту інкапсулюється в корпус регулятора. Обидва кінці гарячої дроту виводять калібрувальну трубку та з'єднують вимірювальну лінію. Каліброва оболонка може бути виготовлена з металу або скла. Металева оболонка має переваги міцності, зручності видалення гарячих ниток і т. Д. Недоліки - це погана герметичність і висока вартість. Скляна оболонка має переваги хорошої герметичності та низької ціни, а недолік полягає в тому, що він легко пошкоджений.

Температурний коефіцієнт опору та питомий опір деяких проводів опору, які використовуються для нагрівання, наведені в табл. 4-1, серед яких широко використовуються вольфрам, платина та нікель. Щоб забезпечити робочу стабільність гарячої дроту, на додаток до очищення поверхні гарячої проводки, іноді тонкий шар скла, кварц або тантал наноситься на поверхню гарячої проводки, щоб уникнути окислення або забруднення гарячої дріт, коли вона використовується під високим тиском. Але вважається, що цей метод збільшить його термічну інерцію.

Метал: Вольфрам Платина Нікель Хром Ірідій Молібден Метал Мідь Срібло

Температура опору

Коефіцієнт в 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Опірність в 0 ℃ 5,1 9,2-9,6 6,84 12,9 4,85 5,71 9,7 1,67 1,59

px10 ^-8 (Ω · м)

Таблиця 4-1 Коефіцієнт температури опору та опірність деяких металів