Система приводу та системи охолодження обладнання для покриття PVD
Mar 31, 2018| Система приводу
Система приводу дозволяє субстрату потік від підведення субстрату в пристрій для розпилення осадження, виходу з пристрою після завершення обробки. Система приводу складається з приводу двигуна, колеса прокрутки, перетворювача частоти тощо. Причини додавання системи приводу є:
(1) Забезпечення широко поширеного покриття рівномірної товщини.
(2) Легко реалізувати автоматизовану передачу.
Охолоджувальна система
Система охолодження в основному складається з молекулярного насоса циркулюючої води, камери, групи насосів та охолоджувальної циркуляційної води приводу двигуна. Його основна функція - охолодження вакуумної камери, насоса, приводу, джерела живлення та ін. Вимоги охолоджувальної води:
(1) Температура: 17 ~ 22 ° С;
(2) Тиск: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Магнітні частинки слід видалити з води, а вода повинна бути пом'якшена, рН = 6 ~ 8.