Вибір типу вакуумні одиниці
Jun 30, 2018| 1. склад і класифікація вакуумних агрегатах
Вакуумні одиниці взагалі складається з наступних компонентів: різні вакуумні насоси вакуумні вимірювальні прилади, вакуумні клапани, вакуумні труб і деякі інші компоненти, такі як Повітродувки, вакуумні суглобів, резервуари для зберігання газу хутром, пил, колекціонерів і вакуумні реле .
Згідно з робочим тиском одиниці, є грубе вакуумних агрегатах (> 1330Pa), низький вакуумні агрегати (1330 ~ 0.13Pa), висока вакуумні агрегати (0,13 ~ 1,3 х 10-6Pa), ультра високою вакуумних агрегатах (1.3x10-6) ~1.3×10-11 ПА) і дуже високий вакуум одиниці (<1.2×10-11>
2. низька питома вакуумні
Основні особливості низька питома вакуумні високий робочий тиск і великих переміщень, але швидкість відкачування нижче, ніж високої вакуумної одиниці. Він в основному використовується для грубі прокачування вакуумної камери і деяких вакуумних агрегатах, які повинні високий робочий тиск, таких як вакуумні розряду одиниць, вакуумні просочення одиниць, вакуумні фільтра одиниць, вакуум дегазації одиниці, одиниці вакуумного сушіння і так далі. Основні насоси вакуумні низька питома є зазвичай зворотно-поступальний вакуумні насоси, олія ущільнення вакуумні насоси, насоси струменя води, водяної пари струменеві насоси води кільце насосів, масляні парів струменеві насоси, насоси молекулярним ситом адсорбції і коріння насосів. При використанні low вакуумного одиниці, це також необхідно сконфігурувати компоненти, такі як пил колектор і сухого фільтр відповідно до вимог процесу ступеня чистоти і вологості газу бути накачаний.
3. висока вакуумна одиниці
3.1, вибрати основний насос. Основні насос може бути дифузійного насоса насос розпилення ion насос, насос титану, криогенні насоса і так далі.
3.2 вибрати бек насоса і газової труби зберігання (протиударні, Скоротіть робочий цикл запобігти велику кількість вентиляція в камері вакуумні та стабілізувати дифузійного насоса, тиск відділення)
4. ультра-високої вакуумної одиниці
Кінцевий вакуум основні насос високого, витоку ставка є низькою, і це стійкі до випічки в 200-450° с.
4.1 дифузійного насоса одиниці: зменшити протитечію та контролю забруднення навколишнього середовища.
4.2 насос одиниці: співвідношення стиснення до водню невеликий, а у залишковий газ в основному водню.
4.3 напилення ion насос одиниці: зазвичай використовується у поєднанні з титану насос.
4.4 криогенні насос одиниці: не забруднення.