Типовий тип вакуумної системи
Jun 30, 2018| Система, яка використовується для задоволення певних технологічних вимог, здатних одержати та вимірювати необхідний вакуум, називається вакуумною системою. Більш повна вакуумна система складається з вакуумної камери, необхідного вакуумного насоса або вакуумного приладу, вакуумного вимірювального приладу, з'єднувального трубопроводу, вакуумного клапана, пастки та інших вакуумних компонентів та системи електричного управління. Типова вакуумна система показана на рисунках 1 і 2.
1. Вакуумний камерний вентиляційний клапан 2. Іонізаційний вакуумметр 3. Вакуумметр термопари 4. Клапан регулювання потоку
5. Високий вакуумний клапан 6. Дифузійний насос 7. Газовий накопичувач
8. Датчик термопара (вимірювання тиску передсучасного нагріву дифузійного насоса) 9. Клапан опори 10. Датчик тиску
11. Передперекачувальний клапан 12. Вакуумний насос корінця 13. Клапан-перепускний клапан 14. Клапан електромагнітного випуску
15. Механічний вакуумний насос
Рис.1. Схематична схема типової вакуумної системи
1. Вакуумна камера 2. Вакуумметр іонізації 3. Вакуумметр термопари 4. Клапан запобігання
5. Високий вакуумний клапан 6. Холодна пастка 7. Дифузійний насос 8. Запірний клапан 9. Електромагнітний кран
10. Механічний вакуумний насос 11 Передперепускний клапан
Рис.2 Схематична схема типової вакуумної системи