Основні етапи процесу вакуумного покриття PVD
Apr 11, 2018| Процедура попереднього лікування
Декотування, вибухові роботи, полірування, пасивування, очищення, затискання
Процес нанесення покриття
Евакуація, нагрівання, тест на витоків, очищення бомбардування, покриття, охолодження
Пост-лікування
1. Очищення. Переконайтесь, що поверхня продукту перед нанесенням покриття є чистою, чистіша поверхня, то краще забезпечить якість покриття.
2. Евакуація: евакуйовано залишковий газ з вакуумної камери.
3. Опалення: Одночасно нагрівають печі та заготівлю, щоб прискорити вивільнення залишкового газу.
4. Тест швидкості зростання напруги: швидкість витоку газу та швидкість вивільнення газу в дослідній печі.
5. Очищення від бомбардувань: Видаліть домішки з поверхні заготовки, щоб виставити чисту поверхню.
6. Покриття: вкладена плівка.
7. Охолодження: уникайте окислення та знебарвлення деталі.
Чому це охолодження?
Після завершення процесу нанесення покриття температура вакуумної камери становить до 500 ° С. Якщо воно евакуйовано без охолодження, поверхня високотемпературної заготовки, яка не покрита, стане синьою через реакцію з повітрям.
Як охолоджувати?
1. Закрити високий клапан і вакуумметр, а вакуумна камера відокремлена від насосної групи.
2. Коли оператор натискає кнопку відкачування N 2 , попередньо підключений азот заповнюють у вакуумну камеру через інфільтруючий клапан N 2 , а коли тиск у вакуумній камері досягає заданого тиску перемикача тиску, то N 2 інфільмовий клапан закритий.
3. Вакуумна камера заповнена великою кількістю N 2 , а вакуумний ступінь дуже низький, що більш сприятливий для теплопровідності. Це може скоротити час охолодження та підвищити ефективність виробництва, а фактичне час охолодження може бути зменшено з 90 хвилин до 60 хвилин.
4. Оскільки гелій має більш високу теплопровідність, охолодження гелію відбувається швидше, ніж азот, але вартість вище.
5. Програма швидкого охолодження для іноземного обладнання може скоротити час охолодження на 50%, охолоджуючи цикл охолодження газу.
Причини випробування на підвищення тиску
Вакуумне середовище є найважливішим фактором, що впливає на остаточну якість покриття. Перед покриттям необхідно підвищити швидкість підвищення тиску, щоб забезпечити відповідність умов вакуумного середовища стандарту покриття.