Характеристика ступеня вакууму, одиниці та поділу вакуумної області

Характеристика ступеня вакууму, одиниці та поділу вакуумної області

IKS PVD, ми виробляємо PVD вакуумне обладнання для нанесення покриттів, контактуйте з нами зараз, iks.pvd @ foxmail.come

Не дуже доцільно використовувати тиск для представлення ступеня вакууму, який був використаний в історії вимірювання вакууму манометром u-типу.

У загальній вакуумній системі для визначення ступеня вакууму зазвичай використовується гідростатична фізична величина ізотропного тиску нейтрального газу. Тому вимірювання ступеня вакууму зводиться тільки до вимірювання тиску. Однак особливу увагу слід звернути на умови вимірювання, які є стаціонарним (випадковим рухом), стаціонарним і ізотропним єдиним нейтральним газом в кінцевому контейнері. У цьому випадку розподіл швидкості максвелла, закон косинусного розсіювання і поняття гідростатичного тиску (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) відносно узгоджуються з об'єктивною реальністю, вимірювання ступеня вакууму відносно просто і легко.

Згідно з визначенням ступеня вакууму, краще виразити ступінь вакууму за молекулярною щільністю n, і не можна суперечити для вираження ступеня вакууму тиском. Коли вимірюється тиск, газ, як правило, перебуває в рівноважному стані і задовольняє закон Максвелла розподілу швидкості, тобто p = nkT є істинним. Температура газу є постійною в момент вимірювання, тому тиск газу p пропорційно щільності молекули n. Іншими словами, тиск є мірою молекулярної щільності, тому вакуум може бути виражений як тиск.

У космічних дослідженнях об'єктом дослідження є рух нескінченного простору (1 ~ 10 КМС - 1 або вище) і під дією складної нестаціонарної, інтегрованої атмосфери навколишнього середовища, закон максимального розподілу швидкості і закон косинусного розсіювання не обов'язково, також втратив первісний фізичний сенс, тому тиск вимірювання вакууму є більш складним і складним.

Загалом, вона популярна і використовується для вираження ступеня вакууму тиском, але вона не єдина. Для вираження ступеня вакууму можна також використовувати наступні параметри:

Коли ступінь вакууму дуже висока, тобто коли молекулярна щільність дуже мала, статистичні флуктуації дуже очевидні. Наприклад, при тиску p = 10-12pa статистична флуктуація перевищує 5 разів 10-2, а тиск втрачає своє справжнє значення. Таким чином, в деяких випадках тиск є лише відносним показником інших величин .

1. Q&A

Вакуумні блоки?

Тиск газу, визначеного зіткненням молекули газу на поверхні, - це швидкість зміни часу вертикальної складової імпульсу молекули газу, що стикається з одиницею площі поверхні, тобто силою, отриманою на одиницю площі в Паскалі або Па.

1 pa = 1 Нм - 2

У машинобудуванні іноді величина па є занадто мала, кПа і МПа часто використовуються для вираження тиску. Низький вакуум, іноді виражений як "вакуумний відсоток", такий як водний кільцевий вакуумний насос, зворотно-поступальний вакуумний насос і прямий повітряний корінь вакуумного насоса часто виражається в цьому пристрої вакууму. При тиску p> 102Pa вакуум відсотків становить дельта.

Де: p0 - стандартний атмосферний тиск, Па

Вакуумне зонування

За допомогою пристрою для вимірювання ступеня вакууму ступінь вакууму можна кількісно виразити. Проте в даний час діапазон тисків, що беруть участь у вакуумній техніці, досяг 20 порядків величини, для того щоб полегшити використання, іноді потрібно лише грубо вказати загальний діапазон ступеня вакууму, зазвичай якісно поділений на кілька областей, приблизно вакуумних. . Розглянуті фізичні характеристики молекулярного руху газу у вакуумному стані та ефективний робочий діапазон вакуумного насоса та вакуумметра.

Що стосується поділу вакуумних областей Китаю, то умови вакуумної техніки (gb3163-1982) передбачають наступне:

Грубий вакуум, низький вакуум і високий вакуум діляться відповідно до середнього вільного пробігу молекул газу порівняно з характерним розміром d контейнера. Головним є те, чи зіткнення між молекулами газу або зіткнення між молекулами газу та стінкою пристрою відіграє вирішальну роль у виникненні фізичних явищ.

Межа між високим вакуумом і надвисоким вакуумом встановлюється як 10-6Pa. Основною причиною є розгляд механізму вакуумної фізичної адсорбції. Тільки тоді, коли тиск p <10-6pa є="" очевидним,="" його="" можна="" отримати="" дифузійним="" насосом="" для="" екстракції,="" а="" тиск="" вимірюється=""> Що стосується границі між ультрависоким вакуумом і ультрависоким вакуумом, то це пояснюється тим, що статистична флуктуація (більше 5 * 10-2) відбувається при p <10-12>

Наведені вище вакуумні області поділяються на області, що представляють діапазон тиску, з тієї причини, що тиск все ще виражається в градусах. Однак в умовах низького вакууму, високого вакууму, дуже високого вакууму і дуже високого вакууму згаданий тиск є по суті різним, тільки відносне вказівка інших кількостей.

Фізичні характеристики вакууму, вакуумного насоса і вакуумметра, що використовуються в кожній області, детально описані в таблиці 1. \ t

З розвитком вакуумної техніки також змінився розподіл вакуумних областей.