Порівняння різних технологій сухого покриття
Dec 06, 2018| Порівняння різних технологій сухого покриття
Виробництво IKS PVD, PVD вакуумного покриття, зв'яжіться з нами зараз, iks.pvd @ foxmail.com
метод нанесення покриттів | вакуумне випаровування | розпилення осадження
| іонна обшивка | Хімічна реакція (СХД) |
Можна покривати матеріалом | метал | Певні металеві сполуки | Метал, сплав, хімічний комплекс, кераміка, високомолекулярна з'єднання | Метал, сплав, кераміка, з'єднання |
Метод випаровування матеріалів матеріалу | вакуумне випаровування | Вакуумне розпилення | Випаровування, розпилення | хімічна реакція |
Субстрат heatin g сфера ℃ | · 30-200 | · 150-500 | · 150-800 | · 300-1100 |
швидкість осадження нм / хв | · 2500-75000 | · 10-100 | · 2500-50000 | · набагато більше PVD |
Інтенсивність міжфазного зчеплення | · звичайний | · бажано | · добре | · добре |
Чистота плівки | · Це залежить від чистоти плівкового матеріалу та плівкового матеріалу, що підтримує човен або тигель | · Це залежить від чистоти цільового матеріалу та газу від накипу | · Залежно від плівкового матеріалу, тигельної та газової чистоти реакції | · Це залежить від реакційного газу |
Властивості плівки | · не рівномірний | · Висока щільність, менше отворів для голок, більш однорідна плівка | · Висока щільність, більш рівномірний, менший відрив | · Висока чистота, хороша компактність |
Можливість покриття складних поверхонь | · Прямий промінь поверхні підкладки | · Хороша дифракція, може бути покрита на всіх поверхнях, плівка рівномірна | · Можна покривати складною гетероморфною поверхнею, поверхню осадження гладкою |