Система високого вакууму
Oct 25, 2023| Система високого вакууму
Широко використовується система високого вакууму, і її робочий діапазон тиску зазвичай становить 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Па. Загальні насосні системи:
(1) Вакуумна система механічного насоса серії дифузійних насосів. Як показано на малюнку 5-2, ця система може отримати розрідження 10-2 ~ 10-5Па, який зазвичай використовується в прикладному обладнанні з відносно малими вихлопними газами під час роботи. Система має такі переваги, як проста конструкція, надійна робота та низька вартість. Недоліком є те, що система запускається повільно, а час попереднього малювання тривалий. Масляні пари дифузійного насоса легко повернути назад у вакуумну камеру.
(2) дифузійний насос, масляний бустерний насос, а потім вакуумна система механічного насоса. Система має короткий час попереднього малювання, але повільний старт.
(3) дифузійний насос серії Roots насос, а потім серія механічних насосів вакуумної системи. Запускається повільно, але час попереднього прокачування короткий.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com