Насосний набір надвисокого вакууму
Oct 13, 2023| Насосний набір надвисокого вакууму
Блок надвисокого вакууму працює в діапазоні тиску надвисокого вакууму 10-6 ~ 10-10Па, на додаток до вимоги, щоб матеріал вакуумної камери мав дуже низьку швидкість виходу газу, a дуже невелика швидкість витоку газу та може витримувати випікання при високій температурі 200 ~ 450 градусів, вимоги до пристрою також включають:
(1) кінцевий ступінь вакууму головного насоса має бути високим, принаймні 10-7 ~ 10-8Па вище;
(2) Головний насос має певну швидкість перекачування в діапазоні робочого тиску надвисокого вакууму;
(3) Головний насос блоку або частина над повітрозабірником головного насоса може витримувати високу температуру запікання 200 ~ 450 градусів;
(4) Парціальний тиск зворотного газу (включаючи пару робочої рідини та розчинений газ) до автономного насоса має бути достатньо низьким;
(5) Основний насос із високою селективністю перекачуваного газу повинен бути оснащений достатньо великим допоміжним насосом;
(6) Трубопроводи, клапани та інші компоненти над впускним отвором основного насоса блоку, вибір і герметизація матеріалів повинні бути особливо обережними. Як правило, використовується нержавіюча сталь з низькою швидкістю виходу газу та металева ущільнювальна структура та ущільнювальні матеріали.
Компанія IKS PVD, машина для нанесення декоративних покриттів, машина для нанесення покриттів на інструменти, машина для нанесення покриттів DLC, машина для оптичного нанесення покриттів, лінія вакуумного нанесення PVD покриттів, доступний проект під ключ. Зв'яжіться з нами зараз, електронну адресу: iks.pvd@foxmail.com