Внутрішнє напруження і вимірювання PVD покриттям вакуумні

1. напруга введення

Коли об'єкт деформовані через зовнішні причини (стрес, вологість і т. д.), внутрішні сили взаємодії між частинами об'єкт, щоб протистояти наслідків цей зовнішній фактор та відновлювати об'єкта з позиції після деформації в положення перед деформації. Внутрішня сила області в момент у поперечному перерізі називають стрес. Нормального навантаження перпендикулярно до поперечного перерізу, а напруга зсуву дотичній до поперечного перерізу. Стрес буде збільшуватися як збільшити зовнішніх сил. Існує обмеження на зростання стрес для певного матеріалу, і вище цього обмеження, матеріал буде знищена.

Для деяких матеріалів, стрес може досягти цього ліміту називається ultimate стрес матеріалів. Кінцева стрес вартість визначається механічних випробувань матеріалу. Вимірюваної сили мають бути відповідними до зниження ліміту, максимально підкреслити матеріал, здатний зумовило безпеки, який допустимий стресу. Якщо матеріал бути використаний безпечно, стрес в ньому користування повинна бути нижче, ніж її межа стрес, інакше матеріал буде пошкоджена, коли він використовується.

Є свого роду стрес називається внутрішні напруги, тобто, коли немає не зовнішніх сил, внутрішнє напруження в об'єкті є внутрішні напруги. І внутрішні напруги в PVD-покриттям. Пошкодження внутрішнього стрес є дуже великий, тому розмір і ступінь внутрішньої стресу повинні бути добре освоєно виробництво. Основні використання покриття PVD є як зносостійкі захисні покриття вимагає певної товщини та терміну служби, але внутрішнє напруження в покриття обмежує Товщина покриття.  Якщо пружні енергії на одиницю об'єму, вироблених внутрішнє напруження перевищує перелом енергії на одиницю площі, покриття буде зменшуватися, так що Товщина покриття осідають обмежена. Загалом, внутрішні напруги, Модуль пружності і твердість покриття є пропорційна один одного. Таким чином, у процесі виробництва, стрес покриття, особливо внутрішні напруги, повинні контролюватися шляхом фізичного парів процес осадження. Після покриття, внутрішнє напруження покриття повинна бути виявлено, так що він може бути прийнятий допустимого діапазону.

2. метод стрес-тест

(1) дифракції рентгенівських і електрон

Коли Покриття в стані стресу, решітки буде спотворювати, а в період кристалічної ґратки буде змінено. Таким чином, зміна товщини лінії дифракції решітки постійного може вимірюватися дифракції рентгенівських і електрон. Стрес покриття може бути обчислена за певну формулу.

(2) аналіз деформації зразка

Один кінець дуже тонкою скляною прямокутний шматок виправлена в камері вакуумні покриття апарату а потім покритого з однієї поверхні листа. Покриття напруг Причини деформації безкоштовно кінці аркушу, і аркуш вимірюється з телеоб'єктивом вимірювання мікроскоп. Кількість Водотоннажність наприкінці безкоштовно потім розраховується на базі механічних формула матеріалу.

(3 оптичний інтерферометрія

За допомогою оптичних інтерферометрія виміряти покриття стрес інтерференційних смуг між стандартний пластини і не покритого підкладці в інтерферометр а потім покриттям на підкладку через покриття вплив стресу, деформації поверхні підкладки, а потім вимірювання інтерференційних смуг утворюються між стандартний пластини і покритого підкладці інтерферометр, заснований на інтерференції смуг зміни, розрахувати покриття стрес за допомогою формули матеріал механіки.

Для більш ніж десяти років,ІКСспеціалізується на всі види вакуумні покриття застосування обладнання для виробництва, присвячений дослідження і розробка і виробництво машини вакуумні покриття, за останнім словом техніки постійно виробляти потреб ринку обладнання вакуумне покриття , надання клієнтам індивідуальні технологічних рішень та обладнання