Введення заборони
Feb 09, 2018| Напруга упередження стосується негативної напруги, яка наноситься на підкладку під час процесу нанесення покриттів. Позитивний клем змінного струму підключений до вакуумної камери, а вакуумна камера заземлена. Негативний термінал напруги зміщення підключений до заготовки. Оскільки напруга Землі, як правило, вважається нульовим потенціалом, напруга на заготовці, що має негативне зміщення, називається зміщенням.
1. Функція негативного зміщення
◆ забезпечити енергію частинок;
◆ ефект нагрівання на підкладці;
◆ Видалення газу та жирної бруду, адсорбованої на підкладці, є корисним для поліпшення міцності з'єднання плівки;
◆ Активізувати поверхню підкладки;
◆ Для великих часток, що містять дугові іонізації, є очищувальний ефект.
2. Класифікація напруги зміщення
(1) За формою сигналу можна розділити на:
DC упередження DC імпульсний ухил
DC накладено імпульсний ухил Біполярний імпульсний ухил
(2) Згідно з необхідністю перемикання високої напруги та низької напруги при використанні енергії, його можна розділити на:
Діаграма потужності перемикання високої напруги та низької напруги
Немає необхідності перемикати високочастотний та безперервний безперервний вихід регулювання
Регульовані параметри джерела живлення зміщення: амплітуда зміщення, коефіцієнт навантаження, частота та форма сигналу.
3. Характеристика джерела живлення зміщення
◆ Кількість дугового гасіння в хвилину.
◆ Виявлення чутливості великих дуг (мДж / кВт, детектурна енергія дуги).
4. Навантаження характеристика упередженості
Робоче навантаження зміщення - це плазма, і плазма виявляє резистивну, коли використовується зміщення постійного струму. Для іншого, коли застосовується імпульсний ухил, плазма виявляє резистивний + ємнісний, що можна розглядати як серійне з'єднання резисторів і конденсаторів. Сутність ємності обумовлена плазмовою оболонкою на підкладці.
