Запобіжні заходи для калібрування іонізаційного вакуумного датчика

Вакуумний датчик можна розділити на абсолютний вакуумметр та відносний вакуумметр відповідно до його вимірювальними властивостями. Абсолютний вакуумметр - це вакуумметр, який визначає тиск, вимірюючи фізичну величину. Наприклад, манометр U-типу, манометр типу стиснення є абсолютним вакуумметром. Вакуумметр, який визначає тиск, вимірюючи фізичну величину, пов'язану з тиском і порівнюючи її з абсолютним вакуумметром, називається відносним вакуумметром. Іонізаційний вакуумметр та вакуумметр ємкостної плівки, вакуумметр теплопровідності, всі з яких - відносні вакуумметри.

Структура датчика іонізації являє собою циліндричний тріод з трьома електродами: катодно-випромінюючим, ворота-прискорюючим електроном, збором полярних колекторів. Загальний катод - плюс нульовий потенціал, сітка - це плюс позитивний потенціал, а колектор - плюс негативний потенціал.

Магічні переваги :

• Виміряйте загальний тиск газу та пари.

• Швидка відповідь, безперервне читання та пульт дистанційного керування.

• Широкий діапазон вимірювань, хороша лінійність та висока точність вимірювання.

Недоліки:

• коли тиск вище 10 ^-1 па, легко окислювати нитку, і як тільки система раптово розкриє атмосферу, датчик буде спалений.

• Помилка дефляції скляної колби та електрода призводить до похибки вимірювання.

Для калібрування іонізаційного вакуумного магніту слід звернути увагу на наступні шість пунктів:

1. Коли датчик підключений до системи, незакріплені вимірювальні прилади та вимірювальні схеми з'єднуються разом, щоб перевірити, чи є датчик нормальним, а потім приймає систему.

2. У процесі калібрування, якщо є несправність і не ідентифіковані, візьміть нерозкритий датчик і вирішіть, чи це калібрувальна проблема чи проблема схеми. Якщо нормально замінити відкритий датчик, це означає, що в оригінальному датчику є проблеми; якщо нерозкритий датчик все ще ненормальний, вказуючи на проблему з ланцюгом, тим самим звужуючи масштаб несправності.

3. Калібрувальна установка повинна бути встановлена вертикально. Під час нагрівання та дегазації та випікання сітки та катоди деформуються, а відносне положення зміниться, що серйозно вплине на точність вимірювання.

4. Перед відкриттям нитки, можна визначити, чи вакуум у вакуумній системі менше, ніж 10 ^-1 ра, потім відкрийте нитку. Якщо ступінь вакууму занадто низький, це призведе до утворення катода калібрувального окислення та спалення.

5. Перед початком читання спочатку необхідно скорегувати ток емісії, нульовий та повний ступінь. Специфічними кроками є: точка емісії - нульова точка - повна шкала - ток емісії.

6. Іонізуючий вакуумметр може бути відкалібрований лише 10 хвилин попереднього нагрівання.