Продуктивність і переваги турбінного молекулярного насоса

Турбомолекулярний насос - це використання високошвидкісного обертання рухомого імпульсу для передачі імпульсу до молекул газу, що генерується газом, спрямованого потоку вакуумного насоса . Турбомолекулярний насос переважно компонентів корпусом насоса, ротора з лопаткою (тобто рухомої крильчатки), статичним імпульсом та системою приводу.

Перевага

Як турбо молекулярний насос в деяких аспектах, це краще, ніж криогенний насос, іонний насос і дифузійний насос продуктивність є кращою. Тому в загальному випадку більше використовують турбонасоси.

(1) Чистий, без масляного відпарювання

Турбомолекулярний насос може працювати без будь-якої скважини і працювати відповідно до правил експлуатації, що може забезпечити чисту вакуумну обстановку для перекаченого контейнера і не містить вуглеводнів.

(2) Зручний у використанні

У багатьох додатках турбонасоси не вимагають високих вакуумних клапанів або грубої вакуумної арматури. Просто натисніть кнопку, насос може почати працювати, від атмосферного тиску можна звести до кінцевого тиску. Система може бути грубо накачана турбомолекулярними насосами і може бути прискорена до робочої швидкості. Це усуває необхідність в клапанах, трубах, пастках, елементі управління клапанів та інших вакуумних компонентах. Це також усуває несправність цих компонентів.

(3) Міцність газотранспортної потужності

Більшість турбомолекулярних насосів мають сильну здатність доставляти легкі гази, такі як водень та гелій, що робить їх ідеальними для технологічних операцій у надвисокому вакуумі. Турбомолекулярний насос, спеціально розроблений для видалення корозійних газів, придатний для травлення, реактивного іонного травлення, механічної обробки іонного променя, хімічного осадження з парою низького тиску, епітаксії та процесів імплантації іонів. Під час процесів евакуйований газ може пошкодити кріогенні насоси, іонні насоси, дифузійне насосне масло і навіть знищити стандартні незахищені турбомолекулярні насоси. Оскільки турбомолекулярний насос належить до насосу трансмісії, нагнетаний газ не буде накопичений в насосі, тому він підходить для процесу високого газу.

(4) Придатний для застосування надвисокого вакууму

Хороший турбомолекулярний насос для герметизації та дегазації оснащений двоступінчастим ротаційним насосом, що має високу продуктивність (або сухий попередній насос з тією самою продуктивністю). Остаточний вакуум може досягати 10 ^-9 до 10 ^-10 Торр (133.3-13.33 нПа). Якщо турбомолекулярний насос з'єднаний з іншим турбомолекулярним насосом з використанням металевого та добре дегазованого насоса, його кінцеве тиск, як правило, складає від 1 × 10 ^-10 до 1 × 10 ^-11 Торр (13.33 до 1.333 нПа) між. І на відміну від кріогенних насосів або іонних насосів, турбо молекулярні насоси працюють при повній швидкості нагнітання в умовах надвисокого вакууму.

(5) Хороша продуктивність під високим тиском

Вхідний тиск деяких турбомолекулярних насосів може проходити між 10 ^-1 та 10 ^-3 Torr (13.33 Pa до 133.3 mPa). У цьому діапазоні тиску іонний насос не може бути використаний, оскільки криогенний насос повинен дросельно відкачувати швидкість завантаження або регулярно відновлювати, а робота дифузійного насоса стане нестабільною.

(6) Короткий час циклу

Більшість турбомолекулярних насосів, особливо менших, зазвичай потребують 1 ~ 3 хв, щоб досягти нормальної швидкості руху. Насоси для різних типів та моделей відрізняються і можуть бути негайно вимкнені і можуть бути вплинуті на атмосферу.

(7) Нормальне використання протягом тривалого часу

У деяких випадках нормальний час використання турбомолекулярного насоса перевершує роботу інших насосів. Через велику навантаження на газ і витік клапана, криогенний насос часто відновлюється, часто відновлюється інтервал або іонний насос часто ремонтується, а турбомолекулярний насос також може бути використаний для усунення забруднення масляного насоса вакуумної камери.