Впровадження методу операції вакуумні покриття машини

Машини вакуумні покриття є покриття інструмент, що має працювати на вищих вакуум. Він розділений на два види випаровування і напилення.

Процес випаровування покриття, як правило, Опалення цільової матеріал, який викликає поверхні компоненти мішені будуть випаруються за атомної або іонної формі і осідають на поверхні підкладки, утворюючи тонка плівка через процес фільм формування.

Напилення покриття просто може бути зрозуміле як використання електрони або високої енергії лазера, щоб бомбардування мета зробити поверхні компоненти цільової напилення у вигляді атомів або іонів і зрештою осідає на поверхні підкладки, формування тонка плівка через процес формування фільм.

Використовуйте кроки:

1. операція методу електромеханічні контролю Кабінету для вакуумного покриття

(1) відкритим джерелом води насос і повітря.

(2) увімкнути основне живлення.

3 відкрийте блок живлення холдингу насос і вакуумний метр, вакуумні датчик положення V1 позиції, чекати його вартість менше, ніж 10 а потім введіть наступної операції. Ймовірно, потребує п'ять хвилин.

(4) включити механічний насос, виконувати попередньою накачуванням, відкрийте turbo насос блок живлення і почати молекулярних насоса. Перемикач вакуумні датчик змінено на позицію V2. Після того, як вакуумної ступінь перекачується менше 2, зупинити перекачування, і це займе 20 хвилин.

(5) коли читаннях турбіна молекулярних насос спостерігаються досягти 250, попередньо перекачування закриті, потім відкрити бек насоса і високого вакууму клапани, як і раніше евакуювати. Тільки після того, як вакууму досягає 2 × 10-3, блок живлення, електронні гармати можна ввімкнути.

2. експлуатація машини вакуумні покриття

(1) увімкнути основне живлення.

(2) в той же час відкрити електронний контроль gun I і II джерело живлення: згідно електронний контроль gun я влади, затримки на перемикання і потім світло затримки, power лампа і захисту світло, світло вгору. Після трьох хвилин затримка світла і захист лампи вимкнути. Якщо задні двері не закрито або реле потік пошкоджено, захист світло завжди буде.

(3) відкрити високого тиску, високого тиску буде залучити більше, ніж 10KV, регулювати дії променя, щоб про 200mA, щит сітка є 20V / 100mA, нитки поточний 1.2A, прогин поточного Свінг 1 ~ 1.7.

3. завершення роботи послідовність вакуумні покриття машини

(1) вимкнути калібрувальних спорядження і насос.

(2) коли молекулярних насос показує до 50, висока вакуумний клапан, бек-насос і механічний насос закриті в послідовності. Ймовірно, потребує 40 хвилин.

(3) Якщо молекулярних насос показує менше 50, закрийте холдингу насоса.