Питання потребує уваги при виборі цілей покриття PVD
Mar 28, 2018|
Вибираючи цілі, окрім застосування покриттів, слід також розглянути наступні питання:
◆ Покриття, яке осаджується цілями, повинно мати хорошу механічну міцність та хімічну стійкість
◆ Покриття, яке осаджується цілями, повинно мати гарну зв'язувальну силу з субстратом. В іншому випадку, матеріали для покриття з хорошою зв'язувальною силою для підкладки повинні бути використані, і, по-перше, розпилення і осадження базальної мембрани, а потім готувати необхідні покриття.
◆ Оскільки покриття формується реактивним розпиленням, матеріали для покриття повинні бути легко реагувати з газом і генерувати плівку з'єднання.
◆ За умови дотримання вимог до вимог щодо покриттів, чим менша різниця між коефіцієнтом теплового розширення між ціллю та субстратом, тим краще, щоб зменшити вплив теплового навантаження.
◆ Цілі повинні відповідати технічним вимогам щодо чистоти, вмісту домішок, рівномірності компонентів, точності обробки тощо.