Ці питання потребують уваги при виборі покриття ПВД

Окрім застосування покриттів, при виборі правильних цілей слід враховувати наступні питання:

◆ Має бути хорошою механічною міцністю та хімічною стійкістю після утворення плівки.

◆ Після створення цільової плівки повинна мати хорошу сила зв'язку з субстратом. В іншому випадку слід використовувати матеріал із хорошим зчепленням із субстратом. Поперше, шар нижньої плівки розпилюється, а потім наноситься необхідний плівковий шар.

◆ Матеріали плівок, які використовуються для плівок, що реалізують реакцію, повинні легко реагувати з реактивним газом, щоб утворювати з'єднуючі плівки.

◆ Чим менша різниця між коефіцієнтом термічного розширення цілі та підкладкою, тим краще. Щоб зменшити вплив термічного стресу

◆ Обрана ціль повинна відповідати технічним вимогам щодо чистоти, вмісту домішок, рівномірності компонентів, точності обробки тощо.