Причиною неоднорідності магнетронного розпиленого покриття

Незалежно від того, який тип вакуумної машини, однаковості покриттів буде вплинути певний чинник.

Робота машини магнетронного розпилення вакуумним покриттям полягає в тому, щоб електрони бомбардували іони аргону, утворені аргоновим газом, а потім бомбардували мішень ортогональним магнітним полем у вакуумному стані, а цільові іони наносяться на поверхню заготовки щоб сформувати покриття Таким чином, ми можемо вважати, що вакуумний стан, магнітне поле та аргон є трьома аспектами, що стосуються рівномірності товщини плівки.

Вакуумний стан контролюється системою повітряного насоса. Кожний насосний порт повинен бути запущений одночасно під постійною міцністю, щоб забезпечити рівномірність насоса. Якщо насос не є однорідним, то тиск у вакуумній камері не може бути рівномірним, оскільки тиск певним чином впливає на рух іонів. Крім того, час перекачування повинен контролюватися. Занадто короткий буде причиною недостатнього вакууму, але це буде тратою ресурсів, якщо воно занадто довге. Але існування вакуумметрів робить це необхідним.

Магнітне поле працює ортогонально, але неможливо зробити інтенсивність магнітного поля 100% рівномірним. Загалом, коли сильне магнітне поле, товщина плівки буде великою, і навпаки, тож товщина плівки буде непослідовною.

Рівномірність подачі аргону газу також впливає на рівномірність плівкового шару. Принцип подібний до ступеня вакууму. У зв'язку з входом аргону газ, тиск у вакуумній камері буде змінюватися відповідно. Рівномірність товщини плівки може регулюватися рівномірним тиском.

Незважаючи на те, що завжди існує декілька факторів, що обумовлюють нерівномірність фільму, але швидкість передачі плівки дуже висока, якщо виконується правильна робота машини для вакуумного нанесення.